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本发明公开了基板翻转装置。根据本发明，基板翻转装置通过致动器使升降夹持部件升降。因此，不需要为了包覆并保护致动器的柱塞的第一伸缩管膨胀而向第一伸缩管的内部注入高压空气。即，能够将第一伸缩管的内部维持大气压状态，在第一伸缩管施加有相对小的压力...
该专利属于株式会社TES所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社TES授权不得商用。

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