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本发明公开了一种互锁控制系统，引入了相互独立的互锁控制模块，从而可以实现对互锁的单独控制，那么能够有效的使得在异常发生时，仅涉及到的腔室停止运作，其他腔室不受影响，从而大大的降低了故障排除的难度，缩短了复机时间，并尽可能的降低了损耗，也就大...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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