惰性气体注入设备及惰性气体注入方法技术
【技术实现步骤摘要】
惰性气体注入设备及惰性气体注入方法
本专利技术涉及惰性气体注入设备、以及使用了这样的惰性气体注入设备的惰性气体注入方法，所述惰性气体注入设备包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；以及控制装置，控制上述注入装置的动作。
技术介绍
为了抑制在基板（例如半导体晶片）上附着微粒、并且抑制因氧或湿度而使基板从适当状态恶化，而使用如上所述的惰性气体注入设备，用于向收纳基板的容器注入惰性气体。即，随着从收纳基板的容器的供气口注入惰性气体，容器内的气体被从排气口向保管空间内排出，容器内成为被注入的惰性气体充满的状态。因此，能够抑制在基板上附着微粒以及因氧或湿度而使基板从适当状态恶化。在日本特开2001-338971号公报（专利文献1）中公开了这种惰性气体注入设备的一例，在该惰性气体注入设备中，在箱形的保管库内沿上下方向和左右方向并排地设置有作为收纳部的保管部，在各保管部装备有供给作为惰性气体的氮...
【技术保护点】
一种惰性气体注入设备，包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；以及控制装置，控制上述注入装置的动作，其特征在于，该惰性气体注入设备具有：检查门开闭检测装置，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令装置，用于对上述控制装置指示停止无效指令，上述控制装置构成为，在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在由上述检查门开...
【技术特征摘要】
2012.01.05 JP 2012-0007221.一种惰性气体注入设备，包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；以及控制装置，控制上述注入装置的动作，其特征在于，该惰性气体注入设备具有：检查门开闭检测装置，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令装置，用于对上述控制装置指示停止无效指令，上述控制装置构成为，在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体，并且，在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。2.根据权利要求1所述的惰性气体注入设备，其特征在于，设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器，上述控制装置构成为，在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时，在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。3.根据权利要求1或2所述的惰性气体注入设备，其特征在于，上述控制装置构成为，在上述停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时，使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。4.根据权利要求1或2所述的惰性气体注入设备，其特征在于，上述控制装置构成为，在上述控制装置对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令而切换到上述停止无效模式后，即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状态的情况下，解除上述停止无效模式而切换至上述通常停止模式。5.根据权利要求4所述的惰性气体注入设备，其特征在于，上述停止无效指令装置构成为，具备能够在操作解除位置和无效指令位置之间操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作体，并且通过将上述操作体操作至上述无效指令位置，而对上述控制装置指示上述停止无效指令。6.一种惰...
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