惰性气体注入设备及惰性气体注入方法技术

本发明专利技术提供一种惰性气体注入设备及惰性气体注入方法。惰性气体注入设备包括：注入装置，以使收纳于保管架的收纳部的容器内的气体向与外部划分形成的保管空间内排出的状态，将惰性气体注入该容器的内部；和控制注入装置的动作的控制装置。控制装置构成为，在未由停止无效指令装置指示停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在检测到检查门的打开状态的情况下，停止对容器供给惰性气体，并且，在由停止无效指令装置指示了停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下，在检测到检查门的打开状态的情况下，也继续对容器供给惰性气体。

【技术实现步骤摘要】
惰性气体注入设备及惰性气体注入方法
本专利技术涉及惰性气体注入设备、以及使用了这样的惰性气体注入设备的惰性气体注入方法，所述惰性气体注入设备包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；以及控制装置，控制上述注入装置的动作。
技术介绍
为了抑制在基板（例如半导体晶片）上附着微粒、并且抑制因氧或湿度而使基板从适当状态恶化，而使用如上所述的惰性气体注入设备，用于向收纳基板的容器注入惰性气体。即，随着从收纳基板的容器的供气口注入惰性气体，容器内的气体被从排气口向保管空间内排出，容器内成为被注入的惰性气体充满的状态。因此，能够抑制在基板上附着微粒以及因氧或湿度而使基板从适当状态恶化。在日本特开2001-338971号公报（专利文献1）中公开了这种惰性气体注入设备的一例，在该惰性气体注入设备中，在箱形的保管库内沿上下方向和左右方向并排地设置有作为收纳部的保管部，在各保管部装备有供给作为惰性气体的氮气的气体供给管。虽然在专利文献1中没有详细的说明，但箱形的保管库内相当于与外部划分形成的保管空间，从容器向该箱形的保管库内排出氮气。在惰性气体注入设备中，为了进行各种检查作业，一般设置用于供作业人员出入保管空间内的检查门。在设置这种检查门的情况下，为了在作业人员位于保管空间内时，抑制从收纳于收纳部的容器的排气口向保管空间内排出惰性气体，可以考虑构成为当打开检查门时停止供给惰性气体。然而，若简单地构成为当打开检查门时停止供给惰性气体，则无法进行惰性气体对收纳于收纳部的容器的供气口的供给状态的检查、惰性气体从容器的排气口的排出状态的检查等供给惰性气体的状态下的检查。
技术实现思路
鉴于上述背景，期望实现这样的惰性气体注入设备：除了能够进行停止供给惰性气体的状态下的检查作业，还能够进行继续供给惰性气体的状态下的检查作业。本专利技术的惰性气体注入设备包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；控制装置，控制上述注入装置的动作；检查门开闭检测装置，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令装置，用于对上述控制装置指示停止无效指令，这里，上述控制装置构成为，在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体，并且，在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。根据上述结构，作为检查作业，在进行对收纳于收纳部的容器的供气口的惰性气体的供给状态的检查、来自容器的排气口的惰性气体的排出状态的检查等供给惰性气体的状态下的检查时，从停止无效指令装置对控制装置指示停止无效指令，由此，即使检查门打开，也能够使对容器供给惰性气体的状态继续。其结果是，能够在继续对容器供给惰性气体的状态下进行检查作业。并且，在检查作业时不需要对容器供给惰性气体的情况下，不从停止无效指令装置对控制装置指示停止无效指令，由此，当由检测门开闭检测装置检测到检查门的打开状态时，停止对容器供给惰性气体。其结果是，能够在停止对容器供给惰性气体的状态下进行检查作业。总之，根据上述结构，能够提供这样的惰性气体注入设备：除了能够进行停止供给惰性气体的状态下的检查作业，还能够进行继续供给惰性气体的状态下的检查作业。本专利技术的惰性气体注入设备的技术特征也能够应用于惰性气体注入方法，本专利技术还能够以这样的方法为权利保护对象。在该惰性气体注入方法中也能够获得上述的惰性气体注入设备的作用效果。即，本专利技术的惰性气体注入方法是使用了惰性气体注入设备的方法，上述惰性气体注入设备包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；控制装置，控制上述注入装置的动作，检查门开闭检测装置，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令装置，用于对上述控制装置指示停止无效指令，上述惰性气体注入方法包括由上述控制装置执行的以下工序：供给状态控制工序，在该供给状态控制工序中，在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体，并且，在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。以下，对本专利技术的优选实施方式的示例进行说明。在本专利技术的惰性气体注入设备的实施方式中，优选的是，设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器，上述控制装置构成为，在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时，在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。根据上述结构，在停止无效模式下，在由于从容器的排气口向保管空间内排出惰性气体而使保管空间内的氧浓度小于设定值的情况下，停止对容器供给惰性气体，能够确保作业人员的安全性。即，为了将从容器排出的气体排放到外部，保管空间未形成为完全密闭，而是适当开放为能够与外部空间通气的状态。并且，在进行检查作业时，检查门维持打开状态。因此，即使从容器的排气口向保管空间内排出惰性气体，保管空间内的氧浓度极端降低而小于设定值的可能性也较小，但万一保管空间内的氧浓度变成小于设定值的情况下，停止对容器供给惰性气体，能够适当地确保作业人员的安全性。在本专利技术的惰性气体注入设备的实施方式中，优选的是，上述控制装置构成为，在上述停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时，使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。根据上述结构，当作业人员在保管空间内进行检查作业时，能够准确地识别继续对容器供给惰性气体的情况，因此，能够在识别了继续对容器供给惰性气体的情况的状态下良好地进行检查作业。顺便说一下，作为通知装置，可以采用对作业人员携带的移动电话等便携终端通知继续供给惰性气体的结构、以及在检查门的附近设置扬声器来通知继续供给惰性气体的结构等。在本专利技术的惰性气体注入设备的实施方式中，优选的是，上述控制装置构成为，在对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令切换到上述停止无效模式后，即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种惰性气体注入设备，包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；以及控制装置，控制上述注入装置的动作，其特征在于，该惰性气体注入设备具有：检查门开闭检测装置，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令装置，用于对上述控制装置指示停止无效指令，上述控制装置构成为，在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体，并且，在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。

【技术特征摘要】
2012.01.05 JP 2012-0007221.一种惰性气体注入设备，包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并配设有收纳用于容纳基板的容器的收纳部；注入装置，以使容器内的气体从收纳于上述收纳部的上述容器的排气口向上述保管空间内排出的状态，将惰性气体从上述容器的供气口注入上述容器的内部；以及控制装置，控制上述注入装置的动作，其特征在于，该惰性气体注入设备具有：检查门开闭检测装置，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令装置，用于对上述控制装置指示停止无效指令，上述控制装置构成为，在未由上述停止无效指令装置指示上述停止无效指令的情况下执行的通常停止模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体，并且，在由上述停止无效指令装置指示了上述停止无效指令的情况下执行的停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态的情况下，也控制上述注入装置的动作以继续对上述容器供给惰性气体。2.根据权利要求1所述的惰性气体注入设备，其特征在于，设置有检测上述保管空间内的氧浓度的氧浓度检测传感器，上述控制装置构成为，在上述停止无效模式下继续对上述容器供给惰性气体时，在由上述氧浓度检测传感器检测到氧浓度小于设定值的情况下，控制上述注入装置的动作以停止对上述容器供给惰性气体。3.根据权利要求1或2所述的惰性气体注入设备，其特征在于，上述控制装置构成为，在上述停止无效模式下，在由上述检查门开闭检测装置检测到上述检查门的打开状态后继续对上述容器供给惰性气体时，使对作业人员通知继续供给惰性气体的通知装置动作。4.根据权利要求1或2所述的惰性气体注入设备，其特征在于，上述控制装置构成为，在上述控制装置对应于上述停止无效指令装置的上述停止无效指令而切换到上述停止无效模式后，即使经过了设定时间上述检查门开闭检测装置也未检测到上述检查门的打开状态的情况下，解除上述停止无效模式而切换至上述通常停止模式。5.根据权利要求4所述的惰性气体注入设备，其特征在于，上述停止无效指令装置构成为，具备能够在操作解除位置和无效指令位置之间操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作体，并且通过将上述操作体操作至上述无效指令位置，而对上述控制装置指示上述停止无效指令。6.一种惰...

【专利技术属性】
技术研发人员：进武士，高原正裕，上田俊人，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：