电子装置制造室及其形成方法制造方法及图纸

一种电子装置制造室及其形成方法。在第一方面中，提供了一种第一多部件室。该第一多部件室包括：（1）中央部件，具有第一侧面和第二侧面；（2）第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；以及（3）第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。当中央部件、第一侧部件和第二侧部件连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。还提供了许多其它内容。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示和/或电子装置制造，尤其涉及。
技术介绍
由于平板显示器中使用的基板尺寸增大，用于制造大型平板显示器的电子装置制造室(如处理和/或传送室)的尺寸也必须增大。但是，基于该室的外形尺寸和/或重量，制造和运输这种室的难度也随着该室的尺寸而增大。因此，需要改进的用于制造大型平板显示器的电子装置制造室，以及改进的运输这种室的方法。
技术实现思路
在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(3)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。当中央部件、第一侧部件和第二侧部件连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括中央部件，具有:(1)第一开口侧；(2)第二开口侧，与第一开口侧相对；(3)第一面，位于第一开口侧和第二开口侧之间，适合与室连接，并具有大小允许基板通过的开口；(4)第二面，与第一面相对，位于第一开口侧和第二开口侧之间。该第二面适合与室连接，并具有至少两个大小允许基板通过的垂直堆叠的开口。该多部件室还包括:(I)第一侧部件，适合与中央部件的第一开口侧连接，并具有至少第一面，该第一面有一开口，该开口的大小允许基板通过；(2)第二侧部件，适合与中央部件的第二开口侧连接，并具有至少第一面，该第一面有一开口，该开口的大小允许基板通过。当第一侧部件、第二侧部件和中央部件连接在一起时，第一侧部件的第一面的开口、第二侧部件的第一面的开口以及中央部件的第二面的第一开口基本位于同一高度。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(I)第一部件；(2)至少第二部件，与第一部件相连，以形成多部件室。每个部件的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条，第三个多部件室的外形尺寸不符合陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面、第二侧面和具有半球形部分的底部；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(2)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:中央部件，该中央部件具有第一侧面、第二侧面和具有半球形部分和平坦部分的底部。平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。多部件室还包括:(I)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(2)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括中央部件，具有:(1)第一侧面；(2)第二侧面；(3)第一面，包括至少一个开口，该开口的大小允许基板通过；(4)第二面，包括至少三个开口，每一个的大小都允许基板通过。该多部件室还包括:(I)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(2)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(3)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。中央部件的第一侧面包括至少第一凹口，适合允许基板在多部件室中旋转，并将基板从多部件室传送到与多部件室的第一侧部件相连的室。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接，具有至少一个片状结构，适合减小第一侧部件的侧壁的移动；(3)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接。该第一侧部件包括至少一个支撑结构，适合减小第一侧部件的侧壁的移动。该多部件室还包括第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。该第二侧部件包括至少一个支撑结构，适合减小第二侧部件的侧壁的移动。另外，中央部件、第一侧部件和第二侧部件连接在一起时，形成基本呈圆筒形内室区域。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(3)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接；(4)盖，适合覆盖至少该中央部件。该盖包括平坦部分和多个支撑元件，适合减小平坦部分在垂直方向上的移动。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(3)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接；(4)盖，适合覆盖至少该中央部件。该盖包括至少一个凹口，适合提供在多部件室的内部区域的存取，而不需移走该盖。在某些实施例中，提供了 一种多部件电子装置制造室，包括(I)确定电子装置制造室的一个或多个外形尺寸；(2)确定如何将电子装置制造室分割成多个部件，使多个部件中每一个的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条；(3)制造多个部件。该多部件室的外形尺寸不符合陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了 一种运输多部件室的方法，包括(I)通过陆地或航空运输多个室部件的第一部件；(2)通过陆地或航空运输多个室部件的第二部件；(3)运输第一和第二部件时，符合必要的运输规定的至少一条。该多部件室的外形尺寸违反了陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种运输多部件室的方法，该多部件室具有中央部件、第一侧部件和第二侧部件。该方法包括(I)将真空机械手的至少一部分放在该室的中央部件中；(2)通过陆地或航空运输中央部件；(3)将第一侧部件与第二侧部件相连；(4)通过陆地或航空将第一和第二侧部件一起运输；(5)运输中央部件、第一侧部件和第二侧部件时，符合必要的运输规定。多部件室的外形尺寸违反了陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了 一种支撑电子装置制造室的方法，包括:(I)将电子装置制造室与电子装置制造室支撑件的一个或多个滑动机构相连；(2)使用一个或多个滑动机构，以接纳电子装置制造室的膨胀，从而阻止电子装置制造室移出电子装置制造室支撑件上的位置。 在某些实施例中，提供了 一种支撑电子装置制造室的设备。该设备包括底座，该底座包括:(I)一个或多个支撑元件；(2)—个或多个滑动机构。该一个或多个滑动机构适合与电子装置制造室相连并接纳电子装置制造室的膨胀，从而阻止电子装置制造室移出底座上的位置。在某些实施例中，提供了一种设备，包括一种单元，该单元具有:(1)多部件室的中央部件，适合与第一侧部件和第二侧部件相连，以形成多部件室；(2)真空机械手，位于中央部件内；(3)中央部件的底座，与该中央部件相连。该单元的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种设备，包括一种单元，该单元具有:(1)多部件室的第一侧部件；(2)多部件室的第二侧部件。该第一和第二侧部件适合与中央部件相连，以形成多部件室。该单元还包括:(1)第一底座部件，与第一侧部件相连；(2)第二底座部件，与第二侧部件相连。该单元的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条。还提供了许多其它方面，与本专利技术的上述及其它方面一致。本专利技术的其它特征和方面通过下面的具体描述、附带的权利要求和附图会变得显而易见。附图说明图1是按照本专利技术某些实施例，第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多部件电子装置制造室，包括：数个电子装置制造室部件的第一部件，其中该第一部件包括圆筒形壁，至少一个面形成于该圆筒形壁中，该至少一个面用于耦合至另一个腔室；和该数个电子装置制造室部件的至少一第二部件，该至少一第二部件与该第一部件相连，从而构成多部件电子装置制造室，其中所述第二部件包括圆筒形壁，至少一个面形成于该圆筒形壁中，该至少一个面用于耦合至另一个腔室；其中，该数个电子装置制造室部件中的每一个的尺寸使得多部件电子装置制造室部件中的每一个符合陆地和航空运输规定中的至少一个；以及经组合的该多部件电子装置制造室的总体尺寸使得该多部件电子装置制造室不符合陆地和航空运输规定中的至少一个。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S·库利塔，W·T·布劳尼干，M·伊纳贾瓦，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：