电子装置制造室及其形成方法制造方法及图纸

一种电子装置制造室及其形成方法。在第一方面中，提供了一种第一多部件室。该第一多部件室包括：（1）中央部件，具有第一侧面和第二侧面；（2）第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；以及（3）第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。当中央部件、第一侧部件和第二侧部件连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。还提供了许多其它内容。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示和/或电子装置制造，尤其涉及。
技术介绍
由于平板显示器中使用的基板尺寸增大，用于制造大型平板显示器的电子装置制造室(如处理和/或传送室)的尺寸也必须增大。但是，基于该室的外形尺寸和/或重量，制造和运输这种室的难度也随着该室的尺寸而增大。因此，需要改进的用于制造大型平板显示器的电子装置制造室，以及改进的运输这种室的方法。
技术实现思路
在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括:(1)中央部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与中央部件的第一侧面连接；(3)第二侧部件，适合与中央部件的第二侧面连接。当中央部件、第一侧部件和第二侧部件连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。在某些实施例中，提供了一种多部件室，包括中央部件，具有:(1)第一开口侧；(2)第二开口侧，与第一开口侧相对；(3)第一面，位于第一开口侧和第二开口侧之间，适合与室连接，并具有大小允许基板通过的开口；(4)第二面，与第一面相对，位于第一开口侧和第二开口侧之间。该第二面适合与室连接，并具有至少两个大小允许基板通过的垂直堆叠的开口。该多部件室还包括:(I)第一侧部件，适合与中央部件的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多部件电子装置制造室，包括：数个电子装置制造室部件的第一部件，其中该第一部件包括圆筒形壁，至少一个面形成于该圆筒形壁中，该至少一个面用于耦合至另一个腔室；和该数个电子装置制造室部件的至少一第二部件，该至少一第二部件与该第一部件相连，从而构成多部件电子装置制造室，其中所述第二部件包括圆筒形壁，至少一个面形成于该圆筒形壁中，该至少一个面用于耦合至另一个腔室；其中，该数个电子装置制造室部件中的每一个的尺寸使得多部件电子装置制造室部件中的每一个符合陆地和航空运输规定中的至少一个；以及经组合的该多部件电子装置制造室的总体尺寸使得该多部件电子装置制造室不符合陆地和航空运输规定中的至少一个。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S·库利塔，W·T·布劳尼干，M·伊纳贾瓦，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：