集成调度系统的EFEM及其调度方法技术方案

本发明专利技术提供了一种集成调度系统的EFEM及其调度方法，通过把工艺处理工作站(Cluster?tools)中起调度作用的工控机与EFEM的控制器结合，即EFEM的控制器由集成调度的EFEM工控机取代，使得EFEM具有良好的二次开发性，在运行系统时可以根据具体需求对大气机械手、Load?Port组、预对准模块等模块进行示教、信号配置、工艺过程处理。同时将大气机械手、Load?Port组、预对准模块这些模块的底层驱动嵌入到EFEM中，所以无需再进行设置开发即可实现调度控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及自动化控制设备及调度方法，尤其是指一种集成调度系统的EFEM及其调度方法。
技术介绍
现有的半导体加工前端传输单兀(EFEM-Equipment Frond-End Module)自身包括一个控制系统，该控制系统负责对半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-EndModule)中预对准机构、大气机器手、Load Port组以及按钮、指示灯等半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)本体内的设备进行调度。半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)后边还需对接的工艺处理设备从而构成一个工艺处理工作站(Cluster tools),其中工艺处理设备还会有一个独立的控制器及相应的控制软件，而对于由半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)和工艺处理设备所组成的整个工艺处理工作站(Cluster tools)而言，为协调两者的工作，必须额外架设一个作为总控的工控机进行调度作用，这个工控机上的控制软件需要用户进行二次开本文档来自技高网...

【技术保护点】
种集成调度系统的EFEM，其特征在于：包括集成调度的EFEM工控机、大气机器手、预对准模块、风机滤器模块、以太网交换机、DeviceNet总线通讯模块、I/O模块、现场级设备及Load?Port组；集成调度的EFEM工控机，用于对EFEM系统整体进行调度及EFEM工控机的本体控制；集成调度的EFEM工控机承担工艺处理工作站的调度控制任务，对EFEM系统中的大气机器手轨迹进行规划和调度；对预对准模块的对准功能进行控制；对Load?port的开门、检测晶圆、关门进行控制；根据压差传感器对风机滤器模块中的FFU进行控制；以及通过Load?Lock对后端设备中的真空机器手进行轨迹规划、动作控制；协调大...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曲道奎，徐方，贾凯，褚明杰，刘一恒，刘世昌，沈德峰，陈廷辉，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：