一种半导体加工设备的EFEM控制系统技术方案

一种半导体加工设备的EFEM控制系统，包括以太网交换机，通过网络通信接口挂载现场级设备和扩展设备，用于传输现场级设备调度信号；嵌入式控制模块，用于控制现场级设备调度和EFEM组件的工艺信息处理；通信接口，设于所述嵌入式控制模块，包括与所述以太网交换机通讯连接的以太网接口和用于与EFEM组件通讯连接的组件接口；所述嵌入式控制模块通过所述以太网交换机进行现场级设备调度，通过所述串行接口进行EFEM组件的工艺信息处理；利用以太网交换机把各个分设备连通起来，所以可以使控制系统本身结构更加紧凑，所以可以有效减少控制系统在EFEM中所占的空间，从而使EFEM结构紧凑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工设备技术，特别是涉及一种半导体加工设备的EFEM控制系统。
技术介绍
半导体加工设备中通常包括一种前端接口，该接口容纳着便于传递工件(即，晶圆)并监督这种传递的部件，该前端接口即为设备前端模块(Equipment Front EndModule, EFEM)。EFEM通常包括机器手、预对准机构、装载口组件、风扇/过滤器单元(......,FFU)等多个分离且独立的组件或子设备。同时，EFEM作为半导体加工设备的组成部分，工作过程中亦将对半导体加工设备的各现场级设备进行信号采集并参与控制。现有的EFEM，其组件通常由不同供应商制成，每个组件都有其自己的控制器和通讯协议。必须对EFEM总成采取措施，以使各组件的控制器可相互通讯，从而各组件可相互协作。作为EFEM的控制系统，现有的EFEM的各生产商大部分是用工控机(IndustrialPersonal Computer-1PC)对其内部各个组件或子设备进行调度和管理。工控机自身体积较大，独立的控制器也使维护工作复杂化，并增加了提供在EFEM内部的部件和电气连接，占用洁净室空间大，而净室环境空间是非常昂贵的。且工控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体加工设备的EFEM控制系统，其特征在于：包括：以太网交换机，通过网络通信接口挂载现场级设备和扩展设备，用于传输现场级设备调度信号；嵌入式控制模块，用于控制现场级设备调度和EFEM组件的工艺信息处理；通信接口，设于所述嵌入式控制模块，包括与所述以太网交换机通讯连接的以太网接口和用于与EFEM组件通讯连接的组件接口；所述嵌入式控制模块通过所述以太网交换机进行现场级设备调度，通过所述组件接口进行EFEM组件的工艺信息处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘一恒，贾凯，曲道奎，徐方，褚明杰，杨奇峰，陈廷辉，刘世昌，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：