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一种半导体加工设备的EFEM控制系统，包括以太网交换机，通过网络通信接口挂载现场级设备和扩展设备，用于传输现场级设备调度信号；嵌入式控制模块，用于控制现场级设备调度和EFEM组件的工艺信息处理；通信接口，设于所述嵌入式控制模块，包括与所述以...
该专利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳新松机器人自动化股份有限公司授权不得商用。

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