【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种旋转装置，特别是指一种用于预对准机的旋转装置。
技术介绍
随着科技的发展，工业生产规模越来越大,人力成本会增加,且效率要求也会越来越高。渐渐的在工厂中大量引入自动化工具，如机器人等工具组装产品。在晶圆组装过程中，首先要识别晶圆的安装缺口，机械手先将晶圆放在预对准机的撑托上，再通过卡爪夹持晶圆并上升，使晶圆高出撑托所在平面，旋转晶圆使其缺口朝向一预定位置。但在将晶圆从卡爪放到撑托上时，若卡爪与撑托处于同一位置，两者会发生干涉而阻碍两者在竖直方向上的相对运动。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种避免干涉的旋转装置。一种用于预对准机的旋转装置，包括有卡爪轴、及位于所述卡爪轴外侧的撑托轴，所述撑托轴开设有导向槽，所述旋转装置还包括定向离合器，所述定向离合器的内轴与所述卡爪轴键连接，并在其外轴上固定有滚子，所述滚子卡在所述导向槽中，所述撑托轴能够通过所述定向离合器在所述卡爪轴沿第一方向转动时一起转动、并且能够通过所述定向离合器在所述卡爪轴沿与第一方向相反的第二方向转动时不随之转动。在一实施方式中，所述卡爪轴、所述撑托轴及所述定向离合器具有相同的中心线...
【技术保护点】
一种用于预对准机的旋转装置，包括有卡爪轴、及位于所述卡爪轴外侧的撑托轴，其特征在于：所述旋转装置还包括定向离合器，所述定向离合器的内轴与所述卡爪轴键连接，并在其外轴上固定有滚子，所述撑托轴开设有导向槽，所述滚子卡在所述导向槽中，所述撑托轴通过所述定向离合器在所述卡爪轴沿第一方向转动时随之一起转动，在所述卡爪轴沿与第一方向相反的第二方向转动时不随所述卡爪轴一起转动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李学威，曲道奎，徐方，温燕修，张鹏，王凤利，韩立志，何以刚，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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