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本发明提供了一种集成调度系统的EFEM及其调度方法，通过把工艺处理工作站(Cluster?tools)中起调度作用的工控机与EFEM的控制器结合，即EFEM的控制器由集成调度的EFEM工控机取代，使得EFEM具有良好的二次开发性，在运行系统...
该专利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳新松机器人自动化股份有限公司授权不得商用。

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