【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种“液栅型”石墨烯场效应管的制备方法和检测方法，特别涉及利用聚酰亚胺(PI)材料以获得柔性器件的场效应管的制备方法及检测方法，所述的器件具有较好的生物相容性，可望用作医学检测中的植入性器件。
技术介绍
基于“液栅型”的场效应管结构的生物传感器具有极高的灵敏度，在痕量生物信号检测领域得到了广泛的应用，但仍然存在明显不足。当前基于刚性基底的场效应管传感器，成本较高，而且不太适合用作医学检测中的植入式器件。与之相比，基于柔性材料的场效应管，能够适用于更多检测环境，而且选用合适的聚合物材料能大大降低基底材料对石墨烯的掺杂影响。因此，基于PI的石墨烯场效应管在生物信号检测方面具有良好的应用潜力。在设计器件时，必须考虑器件材料的生物兼容性、绝缘性能及长期稳定性等因素。其中，如何通过简单快速的微细加工工艺加工生物兼容性良好的材料是需要解决的首要问题。目前用于加工柔性石墨烯场效应管的材料为聚对苯二甲酸乙二酯(PET)和聚苯乙烯(PS)两类聚合物材料。PET和PS材料绝缘性能好，能够避免电解质溶液渗入，性质相对稳定，但对其进行微加工相对困难。目前采用这两种材料作为...
【技术保护点】
一种基于PI的液栅型石墨烯场效应管的制备方法，其特征在于在硅基底上沉积铝层作为牺牲层；将PI光刻胶旋涂在铝层上作为柔性场效应管的基底；以商品化的石墨烯/聚甲基酸甲酯薄膜转移至预先沉积在PI基底上的钛/金电极，形成良好的欧姆接触；以AZ4620光刻胶作为石墨烯图形化的掩模层；以氧等离子体对石墨烯进行刻蚀；利用PI光刻胶在图形化的石墨烯表面制作绝缘层，形成液栅型的结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴蕾，成霁，金庆辉，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。