一种湿法刻蚀并联供液系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种湿法刻蚀并联供液系统，包括药品柜和通过第一管路与药品柜相连的第一湿法刻蚀设备；还包括第二湿法刻蚀设备，其包括设有第一阀门的内部管路；分别用于控制第一阀门开闭以及控制药品柜的第二控制器的信号输入线路通断的第一控制器，第一控制器与信号输入线路相联；连接在内部管路与药品柜之间的第二管路，第二管路与第一管路并联。上述湿法刻蚀并联供液系统的两个湿法刻蚀设备由同一个药品柜分别通过两条管路进行供液；新的湿法刻蚀设备与旧的药品柜能配套使用，节省了需要采购一套新的药品柜以及附属设备的采购成本，而且还省去了对新购置的药品柜在使用中进行日常维护和备件更换等，减少了采购成本以及设备运行成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造
，更具体地说，涉及一种湿法刻蚀并联供液系统。
技术介绍
在太阳能电池生产的过程中，常通过湿法刻蚀去除硅片表面的磷硅玻璃层、并将电池PN节分开。湿法刻蚀是指将太阳能电池浸泡在湿法刻蚀设备的腐蚀液内进行腐蚀的技术，药品柜是湿法刻蚀设备的供液设施，所以药品柜与湿法刻蚀设备必须配套使用，才能满足正常生产的工艺要求。购置新的湿法刻蚀设备时需要采购一套新的药品柜以及附属设备，这样会增加采购成本，而且还需要投入另外的成本对新购置的药品柜在使用中进行日常维护和备件更换坐寸o综上所述，如何提供一种湿法刻蚀并联供液系统，以减少采购成本以及设备运行成本，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种湿法刻蚀并联供液系统，减少采购成本以及设备运行成本。为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案:一种湿法刻蚀并联供液系统，包括药品柜和通过第一管路与所述药品柜相连的第一湿法刻蚀设备；还包括第二湿法刻蚀设备，所述第二湿法刻蚀设备包括:内部管路，所述内部管路上设有第一阀门；分别用于控制所述第一阀门开闭以及控制所述药品柜的第二控制器的信号输入线路通断本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿法刻蚀并联供液系统，包括药品柜（1）和通过第一管路（4）与所述药品柜（1）相连的第一湿法刻蚀设备（2）；其特征在于，还包括第二湿法刻蚀设备（3），所述第二湿法刻蚀设备（3）包括：内部管路，所述内部管路上设有第一阀门；分别用于控制所述第一阀门开闭以及控制所述药品柜（1）的第二控制器的信号输入线路（7）通断的第一控制器，所述第一控制器与所述信号输入线路（7）相联；连接在所述内部管路与所述药品柜（1）之间的第二管路（5），所述第二管路（5）与所述第一管路（4）并联。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：申磊，滕龙，
申请(专利权)人：英利集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：