【技术实现步骤摘要】
本技术涉及薄膜的真空蒸镀装置。
技术介绍
如专利文献I那样，提出了用于制造防污性、疏油性、疏水性的薄膜的蒸镀装置。专利文献1:日本特开2010— 090454号公报在如专利文献I所述的用于制造防污性、疏油性、疏水性的薄膜的蒸镀装置中，使用有机化合物作为具有防污性、疏油性、疏水性的疏油性膜的成膜材料。防污性、疏油性、疏水性的成膜材料与无机材料蒸镀相比，施加于对真空容器内进行排气的真空泵的负载较大。例如，在使用扩散泵作为真空泵的情况下，防污性、疏油性、疏水性的成膜材料被供给至扩散泵后，加速了扩散泵的油劣化，其结果为，因扩散泵的排气性劣化而导致扩散泵维护周期缩短。
技术实现思路
本使用新型是鉴于上述课题而完成的，本技术的目的在于提供一种真空蒸镀装置，即使在使用防污性、疏油性、疏水性的成膜材料等的情况下，也能够降低施加于对真空容器内进行排气的泵的负载。所述课题根据技术方案I的真空蒸镀装置通过如下方式解决:其在真空容器内使蒸镀物质蒸镀至基板，其中，该真空蒸镀装置构成为具备:拱顶型的基板保持构件，其配设在所述真空容器内，用于保持多个所述基板；旋转构件，其用于使该基板保持构件旋转；蒸...
【技术保护点】
一种真空蒸镀装置，其在真空容器内使蒸镀物质蒸镀至基板，所述真空蒸镀装置的特征在于，该蒸镀装置构成为具备：拱顶型的基板保持构件，其配设在所述真空容器内，用于保持多个所述基板；旋转构件，其用于使该基板保持构件旋转；蒸镀构件，其以与所述基板对置的方式设置；排气构件，其用于将所述真空容器内的气体分子排出；以及排气口，其由设于所述真空容器的侧壁的开口构成，能够供由所述排气构件排出到所述真空容器外的所述气体分子通过，所述基板保持构件的下端部配置在比所述排气口的上端部靠下方的位置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：盐野一郎，林达也，姜友松，宫内充祐，冈田胜久，长江亦周，
申请(专利权)人：株式会社新柯隆，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。