氯硅烷残液回收装置制造方法及图纸

本氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，表面蒸发器由电动机驱动装置、残液进口、排气口、封头、人孔、分布盘、热媒夹套、钢丝刷架、电动机转轴、耙架、筒壁、热媒夹套出口、热媒夹套进口及残渣出口构成；螺旋蒸发器由筒体、电动机及驱动装置、螺旋体、热媒夹套、残渣进口、热媒夹套进口、热媒夹套出口，排气口及残渣出口构成，表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通。本装置通过两级蒸发器高温蒸发回收氯硅烷气体，可以从氯硅烷残液中高效回收氯硅烷达95%以上，既解决了被废弃的氯硅烷残液造成的环境污染的问题，又从废弃物中回收了大量可贵的多晶硅生产原料，大大降低了多晶硅生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多晶硅生产残液泥浆状氯硅烷回收装置。
技术介绍
氯硅烷是生产多晶硅的重要原料。多晶硅生产链上某些工序会产生大量的泥浆状氯硅烷残液。由于没有有效的处理、回收手段，大量的泥浆状氯硅烷残液成为废弃之物，有用的氯硅烷得不到合理利用，不仅严重污染环境，并且使多晶硅的生产成本很高。
技术实现思路
鉴于目前多晶硅生产环节产生的大量泥浆状氯硅烷没有有效回收、处理手段，有用的氯硅烷得不到合理利用，严重污染环境，增加多晶硅生产成本的现状，本技术的目的是设计一种高效处理、回收氯硅烷残液的回收装置。本技术是一种氯硅烷残液回收装置，其特征在于由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，所述的表面蒸发器由电动机驱动装置、残液进口、排气口、封头、人孔、分布盘、热媒夹套、钢丝刷架、电动机转轴、耙架、筒壁、热媒夹套出口、热媒夹套进口及残渣出口构成，电动机转轴自上而下贯穿表面蒸发器筒体，表面蒸发器的封头与筒壁固连，残液进口、排气口、人孔均位于封头上，与封头焊接，分布盘固定在表面蒸发器筒壁上端，分布盘上均匀分布数个凹槽，每个残液进口的下部各插在分布盘的一个凹槽内，钢丝刷架和耙架分别固定在电动机转轴上，热媒夹套包裹在筒壁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷残液回收装置，其特征在于由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，所述的表面蒸发器由电动机驱动装置（1）、残液进口（2）、排气口（3）、封头（4）、人孔（5）、分布盘（6）、热媒夹套（7）、钢丝刷架（8）、电动机转轴（9）、耙架（10）、筒壁（11）、热媒夹套出口（12）、热媒夹套进口（13）及残渣出口（14）构成，电动机转轴（9）自上而下贯穿表面蒸发器筒体，表面蒸发器的封头（4）与筒壁（11）焊接，残液进口（2）、排气口（3）、人孔（5）均位于封头（4）上，与封头（4）焊接连接，分布盘（6）固定在表面蒸发器筒壁（11）上端，分布盘（6）上均匀分布数个凹槽，每个残液进口（2）的下部各插在分布盘（...

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷残液回收装置，其特征在于由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，所述的表面蒸发器由电动机驱动装置(I)、残液进口(2)、排气口(3)、封头(4)、人孔(5)、分布盘(6)、热媒夹套(7)、钢丝刷架(8)、电动机转轴(9)、耙架(10)、筒壁(11)、热媒夹套出口(12)、热媒夹套进口( 13)及残渣出口( 14)构成，电动机转轴(9)自上而下贯穿表面蒸发器筒体，表面蒸发器的封头(4)与筒壁(11)焊接，残液进口(2)、排气口(3)、人孔(5)均位于封头(4)上，与封头(4)焊接连接，分布盘(6)固定在表面蒸发器筒壁(11)上端，分布盘(6)上均匀分布数个凹槽，每个残液进口(2)的下部各插在分布盘(6)的一个凹槽内，钢丝刷架(8)和耙架(10)分别固定在电动机转轴(9)上，热媒夹套(7)包裹在筒壁(11)上，热媒夹套进口(13)位于表面蒸发器筒壁(11)底部，热媒夹套出口(12)位于表面蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王姗，
申请(专利权)人：成都蜀菱科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：