多晶硅铸锭装置制造方法及图纸

技术编号:8743402 阅读:121 留言:0更新日期:2013-05-29 20:43
本发明专利技术公开了一种多晶硅铸锭装置,包括:炉体和支架,所述支架上设有与炉体相连的液压缸,所述炉体内设置有坩埚,所述坩埚外侧设有石墨坩埚,所述石墨坩埚外侧四周设有加热器,所述石墨坩埚下方设有石墨冷却块,所述坩埚四周设有隔热笼,所述炉体底部设有支撑柱,所述支撑柱穿过隔热笼支撑在石墨冷却块底部,所述炉体顶部设有炉腔过温保护热电偶和坩埚控温测量热电偶。通过上述方式,本发明专利技术能够简化炉体结构,增加提纯和晶体生长效果,具有运动轻巧平稳,工艺可靠,操作简单的特点,可同时检测炉腔内和隔热笼内的温度,提高了多晶硅铸锭装置的可靠性能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭装置,其特征在于,包括:炉体和支架,所述支架上设有与炉体相连的液压缸,所述炉体内设置有坩埚,所述坩埚外侧设有石墨坩埚,所述石墨坩埚外侧四周设有加热器,所述石墨坩埚下方设有石墨冷却块,所述坩埚四周设有隔热笼,所述炉体底部设有支撑柱,所述支撑柱穿过隔热笼支撑在石墨冷却块底部,所述炉体顶部设有炉腔过温保护热电偶和坩埚控温测量热电偶。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李川川
申请(专利权)人:常州市万阳光伏有限公司
类型:发明
国别省市:

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