【技术实现步骤摘要】
采用四面加热的多晶硅铸锭炉
:本技术涉及多晶硅锭的制造装置,特别涉及一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉。
技术介绍
:多晶硅铸锭炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有的多晶硅铸锭炉其加热体设计、配置不合理,在实施实施单向凝固难以控制,同时增加铸锭成本。
技术实现思路
:鉴于此,有必要设计一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉。一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;其中,炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口,炉盖位于炉体的下端,保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内,设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块,在导热块上设置有石英坩埚,石英坩埚内盛放硅料,在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板,坩埚护板外设置有加热器,加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上,在加热器的上端面连接有数根电极杆,电极杆的顶端固定在炉体顶端,加热器通过电极杆悬吊在炉体内。加热器包括:隔热板、固定夹、加热体;其中,三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处,固定夹上端固定着四段加热体,每段加热体呈“W”型,四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。本技术通过在石英坩埚的侧壁外设置呈“W”型的首尾相连的四段加热体,有效地增加了加热体的实际长度 ...
【技术保护点】
一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;其中,炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口,炉盖位于炉体的下端,保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内,设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块,在导热块上设置有石英坩埚,石英坩埚内盛放硅料,在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板,坩埚护板外设置有加热器,加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上,在加热器的上端面连接有数根电极杆,电极杆的顶端固定在炉体顶端,加热器通过电极杆悬吊在炉体内; 其特征在于:加热器包括:隔热板、固定夹、加热体;其中,三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处,固定夹上端固定着四段加热体,每段加热体呈“W”型,四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。
【技术特征摘要】
1.一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;其中,炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口,炉盖位于炉体的下端,保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内,设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块,在导热块上设置有石英坩埚,石英坩埚内盛放硅料,在石英坩埚四面的侧壁外设...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴学军,周凯平,
申请(专利权)人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:宁夏;64
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