采用四面加热的多晶硅铸锭炉制造技术

技术编号:8721849 阅读:202 留言:0更新日期:2013-05-17 22:57
一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;加热器包括:隔热板、固定夹、加热体;其中,三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处,固定夹上端固定着四段加热体,每段加热体呈“W”型,四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。本实用新型专利技术通过在石英坩埚的侧壁外设置呈“W”型的首尾相连的四段加热体,有效地增加了加热体的实际长度,并且将热源分布到石英坩埚的四个侧面,在加热温度梯度更加符合工艺要求的同时减少了能源消耗。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

采用四面加热的多晶硅铸锭炉
:本技术涉及多晶硅锭的制造装置,特别涉及一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉。
技术介绍
:多晶硅铸锭炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有的多晶硅铸锭炉其加热体设计、配置不合理,在实施实施单向凝固难以控制,同时增加铸锭成本。
技术实现思路
:鉴于此,有必要设计一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉。一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;其中,炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口,炉盖位于炉体的下端,保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内,设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块,在导热块上设置有石英坩埚,石英坩埚内盛放硅料,在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板,坩埚护板外设置有加热器,加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上,在加热器的上端面连接有数根电极杆,电极杆的顶端固定在炉体顶端,加热器通过电极杆悬吊在炉体内。加热器包括:隔热板、固定夹、加热体;其中,三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处,固定夹上端固定着四段加热体,每段加热体呈“W”型,四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。本技术通过在石英坩埚的侧壁外设置呈“W”型的首尾相连的四段加热体,有效地增加了加热体的实际长度,并且将热源分布到石英坩埚的四个侧面,在加热温度梯度更加符合工艺要求的同时减少了能源消耗,并减少了定向结晶需要的时间。附图说明:附图1是一较佳实施方式的采用四面加热的多晶硅铸锭炉的剖视图。附图2是一较佳实施方式的加热器的立体图。图中:炉体1、炉盖2、观察窗3、管路接口 4、吊杆5、保温桶6、保温底板7、支撑柱8、导热块9、加热器10、石英坩埚11、坩埚护板12、隔热板101、固定夹102、加热体10具体实施方式:如图1所示,一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆5、保温桶6、加热器10、炉体1、石英坩埚11、坩埚护板12、支撑柱8、观察窗3、管路接口 4、炉盖2、保温底板7、导热块9 ;其中,炉体I顶端设有观察窗3、炉体I的侧壁设有抽真空的管路接口 4,炉盖2位于炉体I的下端,保温桶6通过设置在其顶端的吊杆5悬空吊在炉体I内,设置在炉盖2上的支撑柱8穿过保温底板7连接导热块9,在导热块9上设置有石英坩埚11,石英坩埚11内盛放硅料,在石英坩埚11四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板12,坩埚护板外设置有加热器,加热器10罩在石英坩埚11及坩埚护板12上,在加热器10的上端面连接有数根电极杆,电极杆的顶端固定在炉体I顶端,加热器10通过电极杆悬吊在炉体I内。如图2所示,加热器10包括:隔热板101、固定夹102、加热体103 ;其中,三个固定夹102呈三角形坐落在隔热板101上表面的边线处,固定夹上端固定着四段加热体103,每段加热体103呈“W”型,四段加热体103首尾相连形成中空的与石英坩埚11相配合的矩形。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;其中,炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口,炉盖位于炉体的下端,保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内,设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块,在导热块上设置有石英坩埚,石英坩埚内盛放硅料,在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板,坩埚护板外设置有加热器,加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上,在加热器的上端面连接有数根电极杆,电极杆的顶端固定在炉体顶端,加热器通过电极杆悬吊在炉体内;    其特征在于:加热器包括:隔热板、固定夹、加热体;其中,三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处,固定夹上端固定着四段加热体,每段加热体呈“W”型,四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。

【技术特征摘要】
1.一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉,包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块;其中,炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口,炉盖位于炉体的下端,保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内,设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块,在导热块上设置有石英坩埚,石英坩埚内盛放硅料,在石英坩埚四面的侧壁外设...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴学军周凯平
申请(专利权)人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:宁夏;64

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