下载多晶硅铸锭装置的技术资料

文档序号:8743402

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本发明公开了一种多晶硅铸锭装置,包括:炉体和支架,所述支架上设有与炉体相连的液压缸,所述炉体内设置有坩埚,所述坩埚外侧设有石墨坩埚,所述石墨坩埚外侧四周设有加热器,所述石墨坩埚下方设有石墨冷却块,所述坩埚四周设有隔热笼,所述炉体底部设有支撑...
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