一种多晶硅锭制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多晶硅锭制造装置，包括坩埚、支撑板、加热器、冷却板、隔热板、高纯石英玻璃层、温度传感器，所述坩埚固定在支撑板上，所述加热器设在坩埚周围，所述隔热板设在加热器周围，加热器内壁设有温度传感器，冷却板位于坩埚下部，高纯石英玻璃层设置在坩埚内壁。本发明专利技术多晶硅锭制造装置能有效的控制加热温度以及加热时间，显著提高多晶硅锭晶粒的定向性，生产出的硅锭性能较佳。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅锭制造装置，其特征在于：包括坩埚(1)、支撑板(2)、加热器(3)、冷却板(4)、隔热板(5)、高纯石英玻璃层(6)、温度传感器(7)，所述坩埚(1)固定在支撑板(2)上，所述加热器(3)设在坩埚(1)周围，所述隔热板(5)设在加热器(3)周围，加热器(3)内壁设有温度传感器(7)，冷却板(4)位于坩埚下部，高纯石英玻璃层(6)设置在坩埚(1)内壁。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李川川，
申请(专利权)人：常州市万阳光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：