【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多晶硅生长过程中的保温结构，其特征在于，包括：坩埚、发热器和位于坩埚外侧的隔热笼，所述隔热笼包括隔热顶板、隔热侧板和隔热底板，所述隔热侧板为三层结构，包括外层的莫来石纤维板、中间层的耐高温碳/碳复合板，内层的承烧板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李川川，
申请(专利权)人：常州市万阳光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：
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