用于多晶硅锭制备的组合坩埚制造技术

技术编号:8743404 阅读:147 留言:0更新日期:2013-05-29 20:43
本发明专利技术公开了一种用于多晶硅锭制备的组合坩埚,包括:石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚,所述石英坩埚包括石英坩埚基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层,所述石英坩埚基体内壁设置有中间过渡层,所述中间过渡层上设有第二中间层,所述第二中间层上设有内表面涂层,所述石墨坩埚包括底板和设置在底板四周的侧板,所述底板具有网状结构。通过上述方式,本发明专利技术中石英坩埚内表面采用复合涂层,增强了涂层附着力,提高了石英坩埚抗高温能力,能够降低涂层材料成本,还能够确保在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时,都能够及时引导硅液的流向,即引导硅液从底板的网络状结构的空隙处流下,从而能够及时报警。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于多晶硅锭制备的组合坩埚,其特征在于,包括:石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚,所述石英坩埚包括石英坩埚基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层,所述石英坩埚基体内壁设置有中间过渡层,所述中间过渡层上设有第二中间层,所述第二中间层上设有内表面涂层,所述石墨坩埚包括底板和设置在底板四周的侧板,所述底板具有网状结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李川川
申请(专利权)人:常州市万阳光伏有限公司
类型:发明
国别省市:

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