【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于多晶硅锭制备的组合坩埚,其特征在于,包括:石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚,所述石英坩埚包括石英坩埚基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层,所述石英坩埚基体内壁设置有中间过渡层,所述中间过渡层上设有第二中间层,所述第二中间层上设有内表面涂层,所述石墨坩埚包括底板和设置在底板四周的侧板,所述底板具有网状结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李川川,
申请(专利权)人:常州市万阳光伏有限公司,
类型:发明
国别省市:
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