下载一种多晶硅锭制造装置的技术资料

文档序号:8743401

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本发明公开了一种多晶硅锭制造装置,包括坩埚、支撑板、加热器、冷却板、隔热板、高纯石英玻璃层、温度传感器,所述坩埚固定在支撑板上,所述加热器设在坩埚周围,所述隔热板设在加热器周围,加热器内壁设有温度传感器,冷却板位于坩埚下部,高纯石英玻璃层设...
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