【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜机的
，具体涉及磁控溅射镀膜机的工件转动装置。
技术介绍
随着科技的不断发展，在对空和对地目标观测方面，随着观测精度以及分辨率的不断提高，被镀零件尺寸越来越大，这就要求镀膜设备的尺寸越来越大，来满足镀制大型光学元件的需要。此类光学元件基本应用于特殊的领域，像航空、航天、遥感、探测、监控领域，这些领域对光学元件的工程配套比要求也比较高，比如能够对地观测和对空观测有高的分辨率。因此也就对大型光学真空镀膜设备有更高的要求。而现有光学元件重量大，差不多有3吨多重，翻面非常困难，还容易造成元件变形。在大型光学真空镀膜设备中一个必要的装置就是工件转动装置，以实现光学元件的自动翻面。现有工件转动装置只能实现朝固定方向转动，无法人工控制工件转动的方向，带来操作上的局限性，阻碍型光学真空镀膜设备向更高水平发展，让真空系统由有油系统发展到无油系统，被镀镜片从原有的特种光学玻璃发展到轻量化的碳化硅(SIC)材料。设备的控制系统也从原有的简单程序控制变为现在的计算机自动控制。
技术实现思路
本技术克服了现有技术的不足，提供了磁控溅射镀膜机的工件转动装置，解决了现有技术中工件...
【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构（1）、转盘（2）、连接块（3）、大齿轮（6）、轴承（15）和动力装置（12），所述的转盘（2）通过连接块（3）与轴承（15）一端连接，所述的轴承（15）另一端与动力装置（12）连接，所述的大齿轮（6）固定在转盘（2）和轴承（15）之间，大齿轮（6）和转盘（2）两端分别用承片结构（1）相连接，其特征在于：还包括与大齿轮（6）垂直连接的自转大齿轮（7）、衬套（8）和大齿轮转动装置（5），所述的衬套（8）位于自转大齿轮（7）和轴承（15）之间，所述的大齿轮转动装置（5）与自转大齿轮（7）一端连接，大齿轮转动装置（5）内分布有电机。
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构(I)、转盘(2)、连接块(3)、大齿轮(6)、轴承(15)和动力装置(12)，所述的转盘(2)通过连接块(3)与轴承(15) —端连接，所述的轴承(15)另一端与动力装置(12)连接，所述的大齿轮(6)固定在转盘(2)和轴承(15)之间，大齿轮(6)和转盘(2)两端分别用承片结构(I)相连接，其特征在于:还包括与大齿轮(6 )垂直连接的自转大齿轮(7 )、衬套(8 )和大齿轮转动装置(5 )，所述的衬套(8 )位于自转大齿轮(7)和轴承(15)之间，所述的大齿轮转动装置(5)与自转大齿轮(7) —端连接，大齿轮转动装置(5)内分布有电机。2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜机的工件转动装置，其特征在于:所述的所有的承片结构(I)外侧分布有屏蔽板(4)，屏蔽板(4)与转盘(2)平行且位于转盘(2)的斜上方。3.根据权利要求1所述的磁...
【专利技术属性】
技术研发人员：温旭辉，潘明元，
申请(专利权)人：成都南光机器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。