磁控溅射镀膜机的工件转动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构（1）、转盘（2）、连接块（3）、大齿轮（6）、轴承（15）和动力装置（12），所述的转盘（2）通过连接块（3）与轴承（15）一端连接，所述的轴承（15）另一端与动力装置（12）连接，所述的大齿轮（6）固定在转盘（2）和轴承（15）之间，大齿轮（6）和转盘（2）两端分别用承片结构（1）相连接，还包括与大齿轮（6）垂直连接的自转大齿轮（7）、衬套（8）和大齿轮转动装置（5），所述的衬套（8）位于自转大齿轮（7）和轴承（15）之间，所述的大齿轮转动装置（5）与自转大齿轮（7）一端连接，大齿轮转动装置（5）内分布有电机。本实用新型专利技术通过上述结构，即可实现工件转动装置向任意方向的转动，能够更好的发挥镀膜机的功能，实现大型光学原件的多方向镀膜。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机的
，具体涉及磁控溅射镀膜机的工件转动装置。
技术介绍
随着科技的不断发展，在对空和对地目标观测方面，随着观测精度以及分辨率的不断提高，被镀零件尺寸越来越大，这就要求镀膜设备的尺寸越来越大，来满足镀制大型光学元件的需要。此类光学元件基本应用于特殊的领域，像航空、航天、遥感、探测、监控领域，这些领域对光学元件的工程配套比要求也比较高，比如能够对地观测和对空观测有高的分辨率。因此也就对大型光学真空镀膜设备有更高的要求。而现有光学元件重量大，差不多有3吨多重，翻面非常困难，还容易造成元件变形。在大型光学真空镀膜设备中一个必要的装置就是工件转动装置，以实现光学元件的自动翻面。现有工件转动装置只能实现朝固定方向转动，无法人工控制工件转动的方向，带来操作上的局限性，阻碍型光学真空镀膜设备向更高水平发展，让真空系统由有油系统发展到无油系统，被镀镜片从原有的特种光学玻璃发展到轻量化的碳化硅(SIC)材料。设备的控制系统也从原有的简单程序控制变为现在的计算机自动控制。
技术实现思路
本技术克服了现有技术的不足，提供了磁控溅射镀膜机的工件转动装置，解决了现有技术中工件转动装置只能朝一个方向转动，无法实现任意方向的转动的缺陷。为解决上述的技术问题，本技术采用以下技术方案:一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构、转盘、连接块、大齿轮、轴承和动力装置，所述的转盘通过连接块与轴承一端连接，所述的轴承另一端与动力装置连接，所述的大齿轮固定在转盘和轴承之间，大齿轮和转盘两端分别用承片结构相连接，还包括与大齿轮垂直连接的自转大齿轮、衬套和大齿轮转动装置，所述的衬套位于自转大齿轮和轴承之间，所述的大齿轮转动装置与自转大齿轮一端连接，大齿轮转动装置内分布有电机。衬套的设计用以保护轴承，同时也起到固定轴承的作用，防止轴承发生偏转。上述的大齿轮转动装置则专门用来为大齿轮提供动力。上述的所有的承片结构外侧分布有屏蔽板，屏蔽板与转盘平行且位于转盘的斜上方。通过屏蔽板的设计将镀膜器件阻挡在承片结构外侧，阻止镀膜器件的灰尘或是其它部件对工件转动装置的损坏，影响工件转动装置的正常运转。上述的动力装置和轴承之间安装有引入座，动力装置内部依次连接有连接柱、联轴器和步进电机。通过连接轴将步进电机与上面的轴承连接，带动轴转动，给转盘提供动力。上述的连接柱的一个侧面上依次连接有支架和传感器支架，传感器支架露于动力装置的对应位置的外侧。通过传感器支架的设计，安装上相应的传感器，通过软件就可实现对步进电机工作状态的随时监控，观察其运行状态。上述的转盘和大齿轮相互平行，轴承位于转盘和大齿轮的垂直平分线上。上述的轴承与衬套之间依次连接有压盖和支撑座。该设计用以保护和固定轴承，减小轴承的摩擦。上述的衬套一侧紧挨自转大齿轮。与现有技术相比，本技术的有益效果是:本技术通过给转盘和大齿轮分别设置电机提供动力，来实现转盘和大齿轮的转动，从而就可通过调节大齿轮的转动方向来控制转盘实现顺时针运动、逆时针运动和相对静止状态，从而实现对转盘运动方向的有效控制，能更好的实现对大型光学元件的镀膜操作。附图说明图1为本技术的剖视图。图中附图标记分别表示为:1、承片结构；2、转盘；3、连接块；4、屏蔽板；5、大齿轮转动装置；6、大齿轮；7、自转大齿轮；8、衬套；9、压盖；10、支撑座；11、引入座；12、动力装置；13、连接柱；14、联轴器；15、轴承；16、步进电机；17、传感器支架；18、支板。具体实施方式以下结合附图1对本技术作进一步阐述，该技术的实施例不限于此。实施例:本技术包括承片结构1、转盘2、连接块3、大齿轮6、轴承15和动力装置12。转盘2通过连接块3与轴承15 —端连接，所述的轴承15另一端与动力装置12连接，所述的大齿轮6固定在转盘2和轴承15之间，大齿轮6和转盘2两端分别用承片结构I相连接。该技术还包括与大齿轮6垂直连接的自转大齿轮7、衬套8和大齿轮转动装置5，所述的衬套8位于自转大齿轮7和轴承15之间，所述的大齿轮转动装置5与自转大齿轮7一端连接，大齿轮转动装置5内分布有电机，自转大齿轮7和大齿轮6连接部分也设置有压盖9。本实施例的所有的承片结构I外侧分布有屏蔽板4，屏蔽板4与转盘2平行且位于转盘2的斜上方，转盘2和大齿轮6相互平行，轴承15位于转盘2和大齿轮6的垂直平分线上。本实施例的动力装置12和轴承15之间安装有引入座11，动力装置12内部依次连接有连接柱13、联轴器14和步进电机16，连接柱13的一个侧面上依次连接有支架18和传感器支架17，传感器支架17露于动力装置12的对应位置的外侧，这些部件之间的连接处还放有垫圈、J形密封圈和J形密封压套，使部件与部件之间的连接更加紧固。衬套8 —侧紧挨自转大齿轮7，轴承15与衬套8之间依次连接有压盖9和支撑座10。本实施例中的各个部件之间主要是通过螺栓和螺钉进行连接的，然后用垫圈和螺帽进行固定。该实施例的大齿轮转动装置给大齿轮提供动力的原理与步进电机给转盘提供动力的原理相同，只是大齿轮转动装置是通过给自传大齿轮提供动力带动大齿轮转动，下面就以步进电机给转盘提供动力过程加以说明。转盘通过连接块与轴承连接，轴承里面有轴，轴承又和下面的步进电机通过连接柱和联轴器连接，当步进电机转动就可带动轴转动，从而带动上方的转盘转动，实现电机控制。旁边设有相应的传感器来随时观测步进电机的运行情况，保证设备的正常工作。以上所述，仅是本技术的较佳实施例，并非对本技术做任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术、方法实质上对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构（1）、转盘（2）、连接块（3）、大齿轮（6）、轴承（15）和动力装置（12），所述的转盘（2）通过连接块（3）与轴承（15）一端连接，所述的轴承（15）另一端与动力装置（12）连接，所述的大齿轮（6）固定在转盘（2）和轴承（15）之间，大齿轮（6）和转盘（2）两端分别用承片结构（1）相连接，其特征在于：还包括与大齿轮（6）垂直连接的自转大齿轮（7）、衬套（8）和大齿轮转动装置（5），所述的衬套（8）位于自转大齿轮（7）和轴承（15）之间，所述的大齿轮转动装置（5）与自转大齿轮（7）一端连接，大齿轮转动装置（5）内分布有电机。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构(I)、转盘(2)、连接块(3)、大齿轮(6)、轴承(15)和动力装置(12)，所述的转盘(2)通过连接块(3)与轴承(15) —端连接，所述的轴承(15)另一端与动力装置(12)连接，所述的大齿轮(6)固定在转盘(2)和轴承(15)之间，大齿轮(6)和转盘(2)两端分别用承片结构(I)相连接，其特征在于:还包括与大齿轮(6 )垂直连接的自转大齿轮(7 )、衬套(8 )和大齿轮转动装置(5 )，所述的衬套(8 )位于自转大齿轮(7)和轴承(15)之间，所述的大齿轮转动装置(5)与自转大齿轮(7) —端连接，大齿轮转动装置(5)内分布有电机。2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜机的工件转动装置，其特征在于:所述的所有的承片结构(I)外侧分布有屏蔽板(4)，屏蔽板(4)与转盘(2)平行且位于转盘(2)的斜上方。3.根据权利要求1所述的磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：温旭辉，潘明元，
申请(专利权)人：成都南光机器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：