【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种注入机，尤其涉及一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，属于工业机械设备
技术介绍
目前公知的真空溅射离子注入机多为整体结构，对超长管，大口径钢材内壁镀膜处理有很大困难，本人于2007年申报的专利号为200720115499.6的专利“大型多功能真空溅射离子注入机”，完全解决了这个问题，在近几年的实际应用中取得了很好效果，但经过使用发现一些不足，特别是炉体左、右扇开合方面，采用开合油缸开合，存在费时费力、复杂繁琐，在炉盖、炉底盘结构以及密封结构方面不尽人意，在工件旋转传动方面采用滚珠传动，存在定位精度差等诸多缺陷。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术的目的在于提供一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，采用在轨道车上安装的液压机械抓手控制炉体左右扇开合，结构简单，方便实用。工件旋转传动方面采用推力轴承，使传动更加平稳，大大提高了镀膜质量。炉盖和炉底盘采用整体空心结构，中间加有梯形密封圈，提高密封效果，缩短生产时间，提高了生产效率。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是:加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可...
【技术保护点】
一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成；其特征在于：炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖（1）通过其孔、炉盖密封圈（41）用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇（21）和炉体右扇（22）的半圆连板（25）连接；炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯（8）和工件（9）分别与炉体下座部分的连接轴（38）和紧固螺栓（35）连接；炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘（34）通过其孔和底盘密封圈（44）用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇（21）和炉体右扇（22）的...
【技术特征摘要】
1.一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成；其特征在于:炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖(I)通过其孔、炉盖密封圈(41)用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇(21)和炉体右扇(22)的半圆连板(25)连接；炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯(8)和工件(9)分别与炉体下座部分的连接轴(38)和紧固螺栓(35)连接；炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘(34)通过其孔和底盘密封圈(44)用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇(21)和炉体右扇(22)的半圆连板(25)连接；可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手(15)与可开合炉体部分的炉体左扇(21)连接。2.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的炉体上盖部分是由炉盖(I)、球座(2)、定位球体(3)、靶芯紧固螺母(4)、悬挂吊筒(5)、连杆(6)、连接圈(7)、靶芯(8)、工件(9)、T型密封圈(42)、梯形密封圈(43)、吊装架(51)、冷却进水管(53)构成，在炉盖(I)上分别连接有冷却进水管(53)和吊装架(51)，在炉盖(I)的中心孔上通过梯形密封圈(43)连接悬挂吊筒(5)，悬挂吊筒(5)下端通过连杆(6)和连接圈(7)连接有工件(9)，悬挂吊筒(5)的上端与靶芯(8)的凸肩连接，靶芯(8)的凸肩上端依次连接定位球体(3)和T型密封圈(42)并通过靶芯(8)上端螺纹连接有靶芯紧固螺母(4)，在悬挂吊筒(5)外周连接的定位球体(3)和炉盖(I)之间连接有球座(2)。3.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的可开合炉体部分是由多节炉体左扇(21)和多节炉体右扇(22)连接构成，多节炉体左扇(21)和多节炉体右扇(22)自身相互连接是通过其半圆连板(25)上的连接螺孔(27)和半圆密封垫(45 )用螺栓连接起来，连接后的多节...
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