一种抗雾自清洁玻璃的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种在普通光学玻璃上制备超亲水抗雾二氧化钛薄膜的方法。利用离子注入技术，将能量为10～100KV钛离子注入到普通光学玻璃材料中，通过调控注入离子剂量和适合的退火温度来制备二氧化钛薄膜。注入的剂量不小于1×1017ions/cm2，退火温度为400～500℃。制备的二氧化钛薄膜有良好的致密性且与衬底附着力强，薄膜厚度可控，同时薄膜具有超亲水性，不起雾的优异性能。该方法制备的二氧化钛薄膜玻璃可用作抗雾自清洁材料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体薄膜领域，具体涉及到。
技术介绍
1997年二氧化钛薄膜光致超亲水性被发现以来，二氧化钛薄膜用于抗雾和自清洁材料的设计就一直是材料研究的热点。抗雾和自清洁玻璃在汽车业和建筑外墙装饰业有着巨大的需求市场。具有超亲水性的二氧化钛薄膜玻璃不但能保持外表始终整洁如新，还具有净化空气、杀菌、除臭、防污等环保功能，具有很强的研究、开发和应用价值。现有的二氧化钛薄膜的制备方法很多，主要有电子束沉积(EBD)，离子束辅助沉积(LAD)，离子束溅射沉积(IBSD)，活化反应蒸发(ARE)，离子镀(IP)，射频溅射(RFS)，还有溶胶-凝胶法。但这些制备二氧化钛薄膜的方法最大的缺陷就是膜和衬底的附着力不是特别稳固。离子注入是指将气体或金属蒸气通入电离室后形成正离子，将正离子从电离室引出进入高压电场中加速，使其得到很高速度而打入固体中的物理过程。离子注入技术的特点有以下几个方面:注入元素可以任意选取，几乎可以注入所有元素；注入时不受温度的限制；注入原子不受被注入样品固溶度的限制，不受扩散系数和化合结合力的影响，特别适合在样品表面附近形成过饱和固溶体；通过控制注入的能量和剂量，可精确控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗雾自清洁玻璃的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：1)?以光学玻璃为衬底，将能量为10～100?kV的Ti+注入到衬底中，在衬底中形成Ti纳米颗粒，Ti离子的注入剂量不小于1×1017?ions/cm2；?2)?将注入Ti+后的光学玻璃升温至400～500oC，并在氧气气氛中保温退火，退火的时间在2小时，退火完后进行自然降温。

【技术特征摘要】
1.一种抗雾自清洁玻璃的制备方法，其特征在于，包括步骤如下: 1)以光学玻璃为衬底，将能量为10 100kV的Ti+注入到衬底中，在衬底中形成Ti纳米颗粒，Ti离子的注入剂量不小于IXlO17 ions/cm2 ； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：任峰，蔡光旭，刘艺超，吴伟，肖湘衡，蒋昌忠，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：