输送装置及具有该输送装置的处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种输送装置，其具有：齿条、第一小齿轮、以及第二小齿轮；该齿条设置在能够进退移动的托架，在任何部分齿顶的形状都相同；该第一小齿轮与所述齿条啮合；该第二小齿轮在与所述第一小齿轮相比更靠所述托架的前进方向侧的位置与所述齿条啮合，所述齿条，形成为当所述第一小齿轮在所述齿条的中央部分啮合，所述第二小齿轮在所述齿条的端部分啮合时，所述齿条与所述第一小齿轮的齿隙比所述齿条与所述第二小齿轮的齿隙小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及输送装置及具有该输送装置的处理装置。
技术介绍
作为在真空容器内输送基板的基板输送装置，已知具有齿条和小齿轮机构的基板输送装置。齿条和小齿轮机构是将小齿轮的旋转动作变换成齿条的直线动作的机构，组合小齿轮和齿条而构成。例如，在直线型溅射装置(4 ^ 4 ^ ^ 〃夕)等真空处理装置中，保持基板的基板托盘，由带齿条的托架穿过真空室进行输送。在这里，通过了真空室的托架需要被转移至下一真空室。在基板托盘上固定齿条，在各真空室中设有小齿轮，通过对与齿条啮合了的小齿轮进行旋转驱动，托架被输送。通过了真空室的托架，被转移至下一真空室的小齿轮。图5表示以往的输送装置的一例，是从真空装置的输送方向的侧方观看的输送装置的示意图。在图5中，为了简化，仅记载了托架102、被固定在托架102上的齿条107、以及小齿轮105。输送装置是保持被输送物，由齿条和小齿轮机构输送托架102的装置。在真空室的底面中央部，铺设有规定托架102的输送方向的输送轨道。在托架102的底面设有2列齿条107，在输送轨道侧在多个部位设有与托架102的齿条107的各个啮合的小齿轮105。具有齿条107和小齿轮105的以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送装置，具有：齿条、第一小齿轮、以及第二小齿轮；该齿条设置在能够进退移动的托架，在任何部分齿顶的形状都相同；该第一小齿轮与所述齿条啮合；该第二小齿轮在与所述第一小齿轮相比更靠所述托架的前进方向侧的位置与所述齿条啮合；其特征在于：所述齿条，形成为当所述第一小齿轮在所述齿条的中央部分啮合，所述第二小齿轮在所述齿条的端部分啮合时，所述齿条与所述第一小齿轮的齿隙比所述齿条与所述第二小齿轮的齿隙小。

【技术特征摘要】
2011.10.25 JP 2011-2341061.一种输送装置，具有:齿条、第一小齿轮、以及第二小齿轮； 该齿条设置在能够进退移动的托架，在任何部分齿顶的形状都相同； 该第一小齿轮与所述齿条啮合； 该第二小齿轮在与所述第一小齿轮相比更靠所述托架的前进方向侧的位置与所述齿条啮合； 其特征在于: 所述齿条，形成为当所述第一小齿轮在所述齿条的中央部分啮合，所述第二小齿轮在所述齿条的端部分啮合时，所述齿条与所述第一小齿轮的齿隙比所述齿条与所述第二小齿轮的齿隙小。2.根据权利要求1所述 的...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村健一，冈本直之，户谷宽行，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：