【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空镀膜
，具体地说是一种应用于真空镀膜领域的链传输机构。
技术介绍
目前，在国内制备镀膜领域中，比如线列式磁控溅射系统，经常需要多个真空室组成的联合工作系统，这就需要一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，这种传输机构适用于基片托(小车)的双向传输，并适用于热场环境，能有效避免因热形变导致的传输卡壳。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种应用于真空镀膜领域的链传输机构。该链传输机构适用于热场环境，能有效避免因热形变导致的传输卡壳。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，包括导轨支架、基片托、带拔齿的传动链、基片及两个主动链轮，其中导轨支架设置于真空腔体内，所述两个主动链轮分别设置于导轨支架的下端两侧、并通过带拔齿的传动链传动连接，所述基片托设置于带拔齿的传动链上、并与导轨支架滑动连接，所述基片安装在基片托上；所述主动链轮驱动带拔齿的传动链水平移动，带拔齿的传动链上的拔齿带动基片托在导轨支架上水平移动。所述两个主动链轮之间设有与带拔齿的传动链连接的涨紧轮。所述涨紧轮为多个。所述基片托的两侧设...
【技术保护点】
一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，其特征在于：包括导轨支架(1)、基片托(3)、带拔齿的传动链(6)、基片(2)及两个主动链轮(4)，其中导轨支架(1)设置于真空腔体内，所述两个主动链轮(4)分别设置于导轨支架(1)的下端两侧、并通过带拔齿的传动链(6)传动连接，所述基片托(3)设置于带拔齿的传动链(6)上、并与导轨支架(1)滑动连接，所述基片(2)安装在基片托(3)上；所述主动链轮(4)驱动带拔齿的传动链(6)水平移动，带拔齿的传动链(6)上的拔齿带动基片托(3)在导轨支架(1)上水平移动。
【技术特征摘要】
1.一种应用于真空镀膜领域的链传输机构，其特征在于包括导轨支架(I)、基片托(3)、带拔齿的传动链￠)、基片(2)及两个主动链轮(4)，其中导轨支架(I)设置于真空腔体内，所述两个主动链轮(4)分别设置于导轨支架(I)的下端两侧、并通过带拔齿的传动链(6)传动连接，所述基片托(3)设置于带拔齿的传动链(6)上、并与导轨支架(I)滑动连接，所述基片(2)安装在基片托(3)上；所述主动链轮(4)驱动带拔齿的传动链(6)水平移动，带拔齿的传动链(6)上的拔齿带动基片托(3)在导轨支架(I...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘丽华，冯彬，孙影，佟雷，马锦，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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