一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，属于磁控溅射镀膜技术领域。包括有无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器，所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧，其上配装有磁钢，仪器测量台包括有滑块、连接板，在无磁型材框架的一侧设置有滑道，其内配置有滑块，滑道的一侧或两侧设置有刻度B，所述连接板上设置有一水平部和一垂直部，连接板上的水平部固定在滑块的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片，垂直部上设置有托板，其上设置有磁场测试器。本实用新型专利技术的优点是：能够实现一个人独立对磁钢进行检测，测量准确、效率高，制造成本低，有利于大范围的推广和应用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于磁控溅射镀膜
，特别是涉及一种磁钢检测装置。
技术介绍
真空镀膜包括光学镀膜与磁控溅射镀膜两种，其中磁控溅射镀膜是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。其在光学薄膜、微电子、材料表面处理等工业化生产或科学研究领域中被广泛应用，尤其应用在大面积平板玻璃表面镀制金属单层质膜、合金膜或金属化合物膜工艺中，其中镀成的薄膜厚度的均匀性是成膜质量检测的一项重要指标，而对薄膜厚度起决定作用的是磁场的分布，由于镀膜设备在工作时会存在一定的机械震动，长时间的机械震动会使磁钢内的小磁铁位置发生位移，从而影响磁场分布，所以就需要定期的对磁钢进行检测。目前的检测方法为:首先将磁钢从靶管中取出，然后用绳子将磁钢的两头吊起，再用磁力仪在磁钢的下面进行一字型测量，这样的测量方式存在以下弊端:I由于磁钢是被人为的用绳子吊起，所以会左右晃动，从而造成测量不准确；2由于磁力仪也是人为手持进行测量，所以测量数据也会有偏差；3测量仪的探头和磁钢的距离由于人为的因素也不能完全保持一致；4由于磁钢的本身没有刻度，所以不能准确找出磁力不合格的位置；5检测需要多人合作才能完成，影响检测效率。
技术实现思路
本技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种测量准确，效率高的磁控溅射镀膜用磁钢检测装置。本技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于:包括无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器，所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧，其上配装有磁钢，所述仪器测量台包括有滑块、连接板，在无磁型材框架的一侧设置有滑道，其内配置有所述滑块，在滑道的一侧或两侧设置有刻度B，所述连接板上设置有一水平部和一垂直部，连接板上的水平部固定在所述滑块的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片，所述垂直部上设置有托板，其上装有所述磁场测试器。本技术还可以采用如下技术方案:所述磁场测试器包括有连杆、支撑杆、测试器外壳，所述支撑杆一端与所述连杆铰接，另一端固定在所述测试器外壳的外表面，所述连杆一端设置有测试探头、另一端通过弹簧固定在测试器外壳的内部上表面，所述测试器外壳的内部设置有带刻度A的显示板。本技术具有的优点和积极效果为:1、通过将磁钢放置在磁钢托架上，不仅能够实现一个人独立对磁钢进行检测，节省了人力资源，还能够提高测量的准确度，避免了手动测量带来的误差，通过滑块和滑道的配合，可以实现对磁钢的每个部分进行精确测量，由于滑道的一侧或两侧设置有刻度，可以准确找出需要调试的部位，从而实现边测量边调试。2、本技术制造成本低，利于生产实践中大范围的推广应用。附图说明图1是本技术的俯视结构示意图；图2是本技术仪器测量台和无磁型材框架的装配结构示意图；图3是本技术磁场测试器的结构示意图。图中:1、滑块；2、连接板；3、磁钢；4、滑道；5、无磁型材框架；6、磁钢托架B ;7、指示片；8、磁钢托架A ;9、测试探头；10、连杆；11、磁场测试器；12、测试器外壳；13、托板；14、仪器测量台；15、弹簧；16、显示板；17、刻度A ;18、支撑杆；19、水平部；20、垂直部；21、刻度B0具体实施方式为能进一步了解本技术的
技术实现思路
、特点及功效，例举以下实施例，并配合附图详细说明如下:如图1-3所示，一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，包括无磁型材框架5、磁钢托架AS、磁钢托架B6、仪器测量台14、磁场测试器11，所述磁钢托架AS、磁钢托架B6分别固定在无磁型材框架5的两侧，其上配装有磁钢3，所述仪器测量台14包括有滑块1、连接板2，在无磁型材框架5的一侧设置有滑道4，其内配置有所述滑块1，在滑道4的一侧或两侧设置有刻度B21，所述连接板2上设置有一水平部19和一垂直部20，连接板2上的水平部19固定在滑块I的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片7，所述垂直部20上设置有托板13，所述磁场测试器11设置在所述托板13上。所述磁场测试器11包括有连杆10、支撑杆18、测试器外壳12，所述支撑杆18的一端与所述连杆10铰接，另一端固定在所述测试器外壳12的外表面，所述连杆10的一端设置有测试探头9、另一端通过弹簧15固定在测试器外壳12的内部上表面，所述测试器外壳12的内部设置有显示板16，显示板16上设置有刻度A17。本技术的工作原理是:首先将磁钢3从靶管内取出，表面清洁干净，然后将磁钢3的两端放置在磁钢托架AS和磁钢托架B6上，并且有磁的部分朝下，然后将磁场测试器11放置在仪器测量台14的托板13上，然后沿着滑道4滑动滑块1，使磁场测试器11显示出磁钢3每个部分的磁力强度，然后通过记录下数据绘制出位移与磁力强度的坐标图，如果磁钢出现磁力强度错误的情况，操作员可以根据指示片7指示的位置进行调整，调整后可继续进行测量。以上对本技术的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于：包括无磁型材框架（5）、磁钢托架A（8）、磁钢托架B（6）、仪器测量台（14）、磁场测试器（11），所述磁钢托架A（8）、磁钢托架B（6）分别固定在无磁型材框架（5）的两侧，其上配装有磁钢（3），所述仪器测量台（14）包括有滑块（1）、连接板（2），在无磁型材框架（5）的一侧设置有滑道（4），其内配置有所述滑块1，在滑道（4）的一侧或两侧设置有刻度B（21），所述连接板（2）上设置有一水平部（19）和一垂直部（20），连接板（2）上的水平部（19）固定在滑块（1）的上表面，其上配装有一呈指针状的指示片（7），所述垂直部（20）上设置有托板（13），其上装有磁场测试器（11）。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置，其特征在于:包括无磁型材框架(5)、磁钢托架A (8)、磁钢托架B (6)、仪器测量台(14)、磁场测试器(11)，所述磁钢托架A (8)、磁钢托架B (6)分别固定在无磁型材框架(5)的两侧，其上配装有磁钢(3)，所述仪器测量台(14)包括有滑块(I)、连接板(2)，在无磁型材框架(5)的一侧设置有滑道(4)，其内配置有所述滑块I，在滑道(4 )的一侧或两侧设置有刻度B (21)，所述连接板(2 )上设置有一水平部(19 )和一垂直部(20 )，连接板(2 )上的水平部(19 )固定在滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭升，王琦，
申请(专利权)人：中国南玻集团股份有限公司，天津南玻工程玻璃有限公司，天津南玻节能玻璃有限公司，
类型：实用新型
国别省市：