一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台制造技术

本实用新型专利技术涉及太阳能生产设备领域，具体涉及一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括传送装置，传送装置包括机架和设置在机架上的传动部件，传送装置的两侧设有导向装置，导向装置位于传送装置的上方，导向装置包括导向部件和用于安装导向部件的导向架，导向架连接有缓冲装置，缓冲装置包括固定在机架上的支架、通过支架支撑在传送装置上方的缓冲架以及设置在缓冲架和导向架之间的缓冲部件。本实用新型专利技术能够顺利地将芯片运送到下一工序，防止芯片走偏，当芯片走偏与导向装置碰撞时，产生的冲击力由缓冲装置进行吸收，起到缓冲作用，保护芯片不被损坏，同时缓冲装置将冲击力转换为弹性势能反弹给芯片，修正芯片的移动方向。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能生产设备领域，具体涉及一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台。
技术介绍
磁控溅射镀膜设备是把磁控原理与普通溅射技术相结合利用磁场的特殊分布控制电场中的电子运动轨迹，将离子引向欲被溅射的物质制成的靶电极(阴极)，并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成膜，使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。磁控溅射镀膜设备已成为制备太阳能薄膜电池的重要设备，在太阳能薄膜电池生产过程中，芯片经由传动轮进入设备内部，完成镀膜后通过传送机构继续流入下工序，例如:申请号201120348080.1所述的一种硅片传送机构，包括连接传送带、至少三个支撑件、至少三个皮带轮，其中，所述连接传送带由所述皮带轮托起，在所述皮带轮的带动下传送硅片，所述支撑件与所述皮带轮相连，所述支撑件用于支撑所述连接传送带的平衡，其缺点在于该传送机构在输送芯片时容易倾斜发生便宜碰撞，使芯片发生形变或破损。
技术实现思路
本技术目的之一是为了克服技术的不足，提供了一种能够在传送过程中保护芯片并校正芯片传动方向的用于磁控溅射镀膜设备的传送机台。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案:一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，所述传送机台设置在磁控溅射镀膜设备的出料口，包括传送装置，所述传送装置包括机架和设置在机架上的传动部件，所述传送装置的两侧设有导向装置，所述导向装置位于传送装置的上方，所述导向装置包括导向部件和用于安装导向部件的导向架，所述导向架连接有缓冲装置，所述缓冲装置包括固定在机架上的支架、通过支架支撑在传送装置上方的缓冲架以及设置在缓冲架和导向架之间的缓冲部件。本技术通过在传动装置的两侧设置导向装置，运送芯片时芯片在导向装置的导向作用下顺利地运送到下一工序，防止芯片走偏，同时导向装置连接有缓冲装置，当芯片走偏与导向装置碰撞时，产生的冲击力由缓冲装置进行吸收，起到缓冲作用，保护芯片不被损坏，同时缓冲装置将冲击力转换为弹性势能，反弹给芯片，修正芯片的移动方向。作为优选，所述导向部件包括导轮、转轴和顶紧块，所述导轮转动连接在转轴上，所述顶紧块与转轴螺纹配合连接，所述转轴的端部设有卡接块，导向架上设有卡槽，所述卡接块卡接在卡槽内，卡槽上设有阻挡卡接块移出卡槽的挡边，所述转轴通过旋转顶紧块使顶紧块和卡接块压住挡边固定在导向架上。此结构可以方便将导向部件的安装、拆卸以及调整导向部件之间的间距，只需将卡接块卡接在卡槽内约束转轴转动，通过旋紧顶紧块使卡接块和顶紧块夹紧卡槽的挡边，从而固定导向部件在导向架上的位置。作为优选，所述导向架上设有导杆，所述缓冲架上设有与所述导杆配合的导孔。作为优选，所述缓冲部件为弹簧或弹性片，能够吸收芯片的冲击力防止芯片破碎，并将冲击力转换为弹性势能，通过反作用力来修正芯片的移动方向。作为优选，所述传动部件包括传动轴和套设在传动轴上的传动轮，所述传动轮间隔设置在传动轴上。作为优选，所述传动轮设有将传动轮套接在传动轴上的套接部，所述套接部上设有定位件。作为优选，所述传动轮轮面设有缓冲圈，减轻运送过程中芯片振动，降低噪音。作为优选，所述传动轮上设有轮槽，所述缓冲圈卡接在轮槽内。作为优选，所述传送机台上还设有距离控制装置，所述距离控制装置用于控制位于传送装置两侧的导向架之间的间距，根据不同芯片宽度随时调整导向架的间距，使导向架与芯片保持一个适宜的间距，在保证芯片顺利运送的情况下减少偏移量，减小冲击力。本技术具有如下有益效果:本技术能够顺利地将芯片运送到下一工序，防止芯片走偏，当芯片走偏与导向装置碰撞时，产生的冲击力由缓冲装置进行吸收，起到缓冲作用，保护芯片不被损坏，同时缓冲装置将冲击力转换为弹性势能反弹给芯片，修正芯片的移动方向。【附图说明】图1为本技术实施例的结构示意图；图2为本技术实施例的侧视图；图3为图1中A处的局部放大图；图4为图2中B处的局部放大图；图5为本技术实施例中导向装置的结构示意图；图6为本技术实施例中传动轮的结构示意图；图中，1-机架；2_传动部件；21_传动轴；22_传动轮；221_套接部来；222_定位件；223_缓冲圈；224_轮槽；3_导向架；31_卡槽；32_挡边；33_导杆；4_导向部件；41_导轮；42_转轴；43_顶紧块；44_卡接块；5-支架；6_缓冲架；7_缓冲部件；8_距离控制装置；81-距离传感器；82_反射片；83_驱动电机；84_驱动丝杆。【具体实施方式】下面将结合附图，通过具体实施例对本技术作进一步说明。实施例:如图1至图6所示，一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，该传送机台设置在磁控溅射镀膜设备的出料口，包括传送装置，传送装置包括机架I和设置在机架I上的传动部件2，传动部件2包括传动轴21和套设在传动轴21上的传动轮22，传动轮22间隔设置在传动轴21上，传动轮22上设有轮槽224，轮槽224内卡接有缓冲圈223，该缓冲圈223为橡胶圈或其他软性耐磨材料；传动轮22上设有将传动轮22套接在传动轴21上的套接部221，套接部221上设有定位件222，该定位件22为紧顶螺栓，紧顶螺栓顶住传动轴21使得传动轮22与传动轴21保持同步转动。传动轴21通过链条联动由电机驱动转动，保证所有的传动轴21转速相同。传送装置的两侧设有导向装置，导向装置位于传送装置的上方，导向装置包括导向架3和导向部件4，导向部件4包括导轮41、转轴42和顶紧块43，导轮41转动连接在转轴42上，顶紧块43与转轴42螺纹配合连接，转轴42的端部设有卡接块44，导向架3上设有卡槽31，卡接块44卡接在卡槽31内，卡槽31上设有阻挡卡接块44移出卡槽31的挡边32，通过旋转顶紧块43使顶紧块43和卡接块44压住挡边32从而将导向部件4固定在导向架3上。导向架3连接有缓冲装置，缓冲装置包括固定在机架I上的支架5、通过支架5支撑在传送装置上方的缓冲架6以及设置在缓冲架6和导向架3之间的缓冲部件7，该缓冲部件7为弹簧或弹性片，导向架3上设有导杆33，缓冲架6上设有与导杆33配合的导孔。传送机台上还设有距离控制装置8，包括距离传感器81、反射片82、驱动电机83和驱动丝杆84，距离传感器81设置在其中一边的导向架3上，反射片82设置在另一边的导向架3上，驱动电机83固定在缓冲架6上。驱动丝杆84的一端与驱动电机83的驱动轴连接由驱动电机83控制转动，另一端与导向架3螺纹配合连接，当驱动丝杆84转动时，导向架3沿驱动丝杆84进行平移。距离传感器81发射光脉冲并接收发射片82反射的信号，测出导向架3的间距并反馈到控制器，根据实际需要通过控制器控制驱动电机83的转动从而控制两边导向架3的间距，根据不同芯片宽度来调整导向架3的间距，使导向架3与芯片保持一个适宜的间距，在保证芯片顺利运送的情况下减少偏移量，减小冲击力。【主权项】1.一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，所述传送机台设置在磁控溅射镀膜设备的出料口，包括传送装置，所述传送装置包括机架(I)和设置在机架(I)上的传动部件(2)，其特征在于:所述传送装置的两侧设有导向装置，所述导向装置位于传送装置的上方，所述导向装置包括导向部件(4)和用于安装导向部件(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，所述传送机台设置在磁控溅射镀膜设备的出料口，包括传送装置，所述传送装置包括机架（1）和设置在机架（1）上的传动部件（2），其特征在于：所述传送装置的两侧设有导向装置，所述导向装置位于传送装置的上方，所述导向装置包括导向部件（4）和用于安装导向部件（4）的导向架（3），所述导向架（3）连接有缓冲装置，所述缓冲装置包括固定在机架（1）上的支架（5）、通过支架（5）支撑在传送装置上方的缓冲架（6）以及设置在缓冲架（6）和导向架（3）之间的缓冲部件（7）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡远远，李静益，
申请(专利权)人：浙江长兴汉能光伏有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33