一种安全节能的非晶锗硅成膜设备制造技术

一种安全节能的非晶锗硅成膜设备，包括带有出气三通阀的反应腔室、用于分类储存并输送原料气至所述反应腔室的特气柜、用于使所述反应腔室形成真空环境的真空处理装置、用于排出所述反应腔室废气的尾排装置和用于稀释所述尾排装置中的尾气的稀释装置，还包括用于使所述稀释装置与所述尾排装置的工作状态同步配合的联动控制开关。本实用新型专利技术结构紧凑、使用方便、设计合理，相对以往设备能够节省大量的保护气，并能消除连带安全隐患，保护设备部件，减少运维成本，使生产环境更加安全高效。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及薄膜太阳能电池
，具体是一种安全节能的非晶锗硅成膜设备。
技术介绍
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是利用强电场使反应室气体发生辉光放电产生大量电子，这样所需的气体源分子就电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，他们与气体分子发生碰撞使气体分子活化吸附在衬底上，并发生一系列化学反应生成介质膜，这样就在样品表面形成了固态薄膜。而副产物从衬底上解吸，随主气流由干泵抽走。但干泵抽走这些残余的气体后，不能直接进行排放，需要将其中的易燃有毒物质(易燃物质如SiH4\CH4\GeH4等、有毒物质如PH3\TMB\GeH4等)使用尾气处理设备处理后才能排放。但目前市面上的传统设备存在缺陷，干泵开启后不管沉积腔室内有无等离子体反应，在非正式工作期间也会消耗大量的保护气(稀释流量约400SLM/Min)用以稀释干泵尾气。此外干泵正常运转时还需要一小部分保护气(吹扫流量约60SLM/Min)用以吹扫内部转子以防转子卡死，但长此以往，在尾气处理设备未开启时，开启干泵时会造成干泵与尾气处理管道连接的波纹管因高压保护气填充而逐渐鼓裂甚至炸开，此时如遇同一尾气处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种安全节能的非晶锗硅成膜设备，包括带有出气三通阀（11）的反应腔室（1）、用于分类储存并输送原料气至所述反应腔室（1）的特气柜（010）、用于使所述反应腔室（1）形成真空环境的真空处理装置、用于排出所述反应腔室（1）废气的尾排装置和用于稀释所述尾排装置中的尾气的稀释装置，其特征在于：还包括用于使所述稀释装置与所述尾排装置的工作状态同步配合的联动控制开关。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张洪，
申请(专利权)人：浙江长兴汉能光伏有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33