【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种。该薄膜主要由碳元素和缺电子掺杂元素经气相沉积得到，其中所述缺电子掺杂元素的原子数含量不超过10%。本专利技术在常见非晶碳基薄膜中掺入该类元素中的一种或两种及以上，或同时掺入其它常见的共掺杂元素，此时，缺电子掺杂元素和共掺杂元素的总含量不超过40%以增加缺电子掺杂元素的反应性和稳定性。缺电子元素的存在可在一定程度上吸引碳原子周围的电子，降低碳原子周围成键电子之间以及碳原子周围电子与环境成分和相接触材料表面间的相互作用，从而降低摩擦及其对环境气氛的敏感性，减少磨损。本专利技术的掺杂非晶碳基薄膜沉积于常见固体材料部件表面，主要用于部件的表面保护、润滑等领域。【专利说明】
本专利技术涉及一种掺杂非晶碳基薄膜及其掺杂方法，特别是一种低气氛敏感性掺杂非晶碳基薄膜及其掺杂方法。
技术介绍
非晶碳基薄膜(类金刚石膜)在水中具有低摩擦、低磨损和优异的耐腐蚀性，以水润滑替代传统的油润滑，在节约能源资源、保护环境方面具有重要的经济和社会意义，是理想的表面保护自润滑材料。然而，现有非晶碳基薄膜在空气中的摩擦系数较高且不稳定，特别是受...
【技术保护点】
一种低气氛敏感性掺杂非晶碳基薄膜，其特征在于该薄膜主要由碳元素和缺电子掺杂元素经气相沉积得到，其中所述缺电子掺杂元素的原子数含量不超过10%。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴行阳，邓兆星，张建华，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：上海;31
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