大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置及调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置及调整方法，本发明专利技术的大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置包括安装架和多块修正小滑块；所述多块修正小滑块并行排列，并且垂直安装在矩形安装架的至少一边内框上，每个修正小滑块均可相对于安装架滑动；修正小滑块的伸出端边缘在矩形安装架内框区域形成调整曲线，所述的安装架和修正小滑块均采用不导磁材料。本发明专利技术结构简单，维修操作方便，且提高了一定等离子刻蚀速率上的有效沉积速率；本发明专利技术还建立了调整区域与有效沉积区域的一一对应关系，提高了镀膜膜层的厚度均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
大面积连续溅射镀膜技术的应用主要有以下几个方面:其一为大面积金属膜的应用，主要应用在大面积的幕墙装饰领域、大面积平板显示领域和半导体领域，其工作的性质是利用金属膜的金属分光特性、金属反射特性和金属导电特性；其二为大面积光电薄膜的应用，主要应用在大面积建筑领域、汽车领域、太阳能和平板显示领域，如大面积低辐射膜，电致变色膜和大面积透明导电膜；其三为大面积光学薄膜的应用，目前主要应用在太阳能领域，如大面积抗反射膜；其四为光学和电学的交叉领域，例如平板显示领域的高透射型透明导电膜，和增透型防辐射膜等。大面积镀膜技术主要可以分为化学法和物理法。化学法又包含了溶液法(溶胶一凝胶法)和化学气相沉积法，目前用于大面积沉积的主要为溶胶一凝胶法，但是由于化学法本身的工艺复杂特点，不适合大面积连续生产，也不能及时跟上随市场对技术的快速变化。物理镀膜法包含了蒸发镀膜和溅射镀膜，蒸发镀膜大量应用在小基片材料上镀膜，主要集中在高端
内的镀膜，如眼镜片镀膜、滤光片、各种类型的光学视窗、棱镜镀膜和激光器件镀膜等；和低端光学领域塑料镀膜和小部件装饰镀膜，如金属膜，抗反射膜等，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置，其特征在于：包括安装架和多块修正小滑块；所述多块修正小滑块并行排列，并且垂直安装在矩形安装架的至少一边内框上，每个修正小滑块均可相对于安装架滑动；修正小滑块伸出端的边缘在矩形安装架内框区域形成调整曲线，所述的安装架和修正小滑块均采用不导磁材料。

【技术特征摘要】
1.一种大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置，其特征在于:包括安装架和多块修正小滑块；所述多块修正小滑块并行排列，并且垂直安装在矩形安装架的至少一边内框上，每个修正小滑块均可相对于安装架滑动；修正小滑块伸出端的边缘在矩形安装架内框区域形成调整曲线，所述的安装架和修正小滑块均采用不导磁材料。2.根据权利要求1所述的大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置，其特征在于:所述多块修正小滑块并行排列，垂直安装在安装架的竖直方向的两内框上。3.根据权利要求1或2所述的大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置，其特征在于:所述修正小滑块，其与安装架连接的一端设有滑槽，通过滑槽安装在安装架上。4.根据权利要求1或2所述的大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置，其特征在于:所述修正小滑块包括窄修正小滑块和宽修正小滑块，安装架内框的上端和下端均安装有多个窄修正小滑块，宽修正小滑块位于两端的窄修正小滑块之间。5.一种利用权利要求1或2所述的大面积连续...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭爱云，黄国兴，孙桂红，祝海生，梁红，黄乐，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：