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磁控溅射镀膜机的工件转动装置制造方法及图纸
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文档序号:8695140
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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置,包括承片结构(1)、转盘(2)、连接块(3)、大齿轮(6)、轴承(15)和动力装置(12),所述的转盘(2)通过连接块(3)与轴承(15)一端连接,所述的轴承(15)另一端与动力装置(12)...
该专利属于成都南光机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都南光机器有限公司授权不得商用。
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