下载磁控溅射镀膜机的工件转动装置的技术资料

文档序号:8695140

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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置,包括承片结构(1)、转盘(2)、连接块(3)、大齿轮(6)、轴承(15)和动力装置(12),所述的转盘(2)通过连接块(3)与轴承(15)一端连接,所述的轴承(15)另一端与动力装置(12)...
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