压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法制造方法及图纸

本公开涉及压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法。一种使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料的压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具，其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于检查模具的压印装置，所述模具用于将形成在该模具上的图案转印到基板上的压印材料。
技术介绍
使用压印技术的图案形成已作为代替迄今为止已知的使用光刻法的图案形成方法来被执行。压印技术是通过将形成有图案的模具按压到被提供有压印材料(树脂)的基板(晶片)上来将图案转印到树脂的技术。如果模具上的图案具有诸如损伤的缺陷，则转印到树脂的图案也具有该缺陷。由于这个原因，需要对模具检查图案是否具有诸如损伤的缺陷。日本专利申请公开N0.2007-296823讨论了 一种模具检查方法，该方法使用其表面上粘附有包括荧光剂的物质的模具。模具的表面被光照射，以观察由模具的表面中所包括的荧光剂引起的荧光。该方法使得荧光被观察以检查模具的表面。该方法讨论了下述技术，在该技术中，模具的表面被激发光照射以检测荧光，从压印过程之前和之后的荧光强度的衰减量来确认模具的表面。日本专利申请公开N0.2007-296823中所讨论的模具检查方法用激发光照射模具的表面来检测来自模具表面的荧光。激发光对模具表面的照射在模具的整个表面之上发射光。当光在模具的整个表面之上发射时，难以检测到光不从其发射的地方，这可能降本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压印装置，所述压印装置使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具；其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。

【技术特征摘要】
2011.10.27 JP 2011-2363781.一种压印装置，所述压印装置使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印装置包括: 发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光； 检测单元，被配置为检测光；和 模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具； 其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述发射单元发射用于在模具与压印材料相接触的情况下固化压印材料的光。3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述检测单元检测被形成用于对准基板的 T 己 O4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，通过将当发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光时检测单元所检测到的检测结果与当模具不具有缺陷并且发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光时检测单元所检测到的参考检测结果进行比较，来检测模具的缺陷。5.根据权利 要求1所述的压印装置，其中，如果检测单元通过检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光而检测到模具的缺陷，则停止图案的转印。6.一种压印装置，所 述压印装置使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印装置包括: 发射单元，被配置为发射第一激发光和第二激发光，其中第一激发光用于使第一发光材料发射光，所述第二激发光用于使第二发光材料发射光； 检测单元，被配置为检测从第一发光材料发射的光和从第二发光材料发射的光；和 模具保持单元，被配置为保持包括第一发光材料的模具； 其中，在图案被转印到包括第二发光材料的压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射第一激发光，检测单元通过检测从第一发光材料发射的光来检测模具的缺陷，并且发射单元向转印到压印材料的图案发...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭村晶子，铃木章义，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：