压印设备和使用该压印设备的物品制造方法技术

本发明专利技术提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
随着对半导体装置或MEMS的微制造的需要的增长，不仅传统的光刻技术而且其中衬底上的未固化的树脂通过模具来模制从而在衬底上形成树脂图案的微制造技术一直在吸引人们的注意。此技术也被称为“压印技术”，通过该技术可以在衬底上形成具有几纳米的尺寸的精细结构。压印技术的一个示例包括光固化方法。采用光固化方法的压印设备首先向衬底(晶片)上的曝光场(shot)区域(压印区域)施加紫外线可固化的树脂(压印材料，光可固化的树脂)。接着，通过模具模制该树脂(未固化的树脂)。在利用紫外光照射紫外线可固化的树脂以用于固化之后，从该模具释放固化后的树脂，由此在衬底上形成树脂图案。这里，在一系列装置制造步骤中，对将要经受压印处理的衬底执行诸如溅射之类的膜形成步骤中的加热处理。因此，整个衬底可以被扩大或缩小，引起图案区域在两个正交的平面内轴的方向上形状(或大小)的变化。因而，在压印设备中，预先形成在衬底上的图案区域(衬底侧图案区域)的形状需要与在模具被压靠衬底上的树脂时形成在模具上的图案区域的形状匹配。作为用于使得稍微变形的衬底侧图案区域的形状与形成在模具上的图案区域的形状匹配的技术，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂的压印设备，所述压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力，从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和该加热机构，以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。

【技术特征摘要】
2011.10.14 JP 2011-226637;2012.09.14 JP 2012-20291.一种将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂的压印设备，所述压印设备包括 形状校正机构，被配置为向该模具施加力，从而使形成在该模具上的图案区域变形； 加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和 控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和该加热机构，以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。2.根据权利要求1所述的压印设备，还包括 检测单元，被配置为检测形成在该模具上的多个标记和形成在该衬底上的多个标记， 其中该控制单元基于由该检测单元检测的结果获得该信息。3.根据权利要求1所述的压印设备，还包括 检测单元，被配置为检测形成在该模具上的多个标记和形成在该衬底上的多个标记， 其中该检测单元测量形成在该模具上的至少四个标记和形成在该衬底上的至少四个4.根据权利要求2所述的压印设备，其中该检测单元测量形成在该模具上的至少四个标记和形成在该衬底上的至少四个标记。5.根据权利要求1所述的压印设备，其中该控制单元控制该加热机构以便在该衬底侧图案区域上形成温度分布。6.根据权利要求1所述的压印设备，其中该加热机构能够仅仅加热该衬底的部分区域，并且该控制单元基于获得的信息确定要由该加热机构加热的区域。7.根据权利要求1所述的压印设备，其中该加热机构包括光源并且通过利用从该光源发射的光照射该衬底来加热该衬底侧图案区域。8.根据权利要求7所述的压印设备，其中该树脂是由紫外光可固化的树脂，并且使用该加热机构照射到该衬底上的光的波长在从400nm到2000nm的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林达也，村上洋介，长谷川敬恭，鸟居弘稔，田中悠辅，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：