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压印设备和使用该压印设备的物品制造方法技术
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下载压印设备和使用该压印设备的物品制造方法的技术资料
文档序号:8593383
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本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括:形状校正机构,被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形;加热机构,被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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