下载压印设备和使用该压印设备的物品制造方法的技术资料

文档序号:8593383

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括:形状校正机构,被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形;加热机构,被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。