【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体集成电路制造领域,特别是涉及相对或接近相对的线端的光学临近效应修正(OPC)方法。
技术介绍
半导体集成电路设计过程中,为了方便布线,都会优先选择直线,其中会有很多相对或者比较接近相对的线端(指线端与线端之间,在X、Y方向的距离大于等于设计规则处的最小间隙,且在X方向的距离小于1.5倍的最小间隙,如图1所示)。但是,由于光学临近效应(OPE, optical proximity effect)的存在,线端会产生很大的偏移,一般称为线端缩短(line-endshortening)。考虑到光刻版制作后的 MEEF(mask error enhancementfactor,掩膜误差增强因子)效应,OPC在修正两个相对或者接近相对的线端的时候,只能将线端的长度进行一定程度的修正。例如,图2中,两个线端之间间隙的设计值为140纳米,考虑了 MEEF因素后,MRC(Mask Rule Checking,掩膜规则检查)设定光刻版上两个线端之间的间隙的值必须大于等于116纳米,线端在经过OPC修正之后,用软件模拟从光刻版图到晶圆的图形转移,得到两个线端间隙的模拟值为218纳米,从而导致了线端不能达到预想的长度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种,它可以避开线端相对方向的MRC的限定,减小线端缩短的长度。为解决上述技术问题,本专利技术的,包括步骤:I)将所述线端分成多段;2)沿垂直于所述线端的方向,调整每一小段的位置,使所述线端偏离相对位置。所述线端偏离的方向与MRC限制的方向垂直。每一小段在垂直于线端方向的移动量小于等于线宽的25*%。 ...
【技术保护点】
相对或接近相对的线端的光学临近效应修正方法,其特征在于,包括步骤:1)将所述线端分成多段;2)沿垂直于所述线端的方向,调整每一小段的位置,使所述线端偏离相对位置。
【技术特征摘要】
1.对或接近相对的线端的光学临近效应修正方法,其特征在于,包括步骤: 1)将所述线端分成多段; 2)沿垂直于所述线端的方向,调整每一小段的位置,使所述线端偏离相对位置。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤2)中,线...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈福成,
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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