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直接成形制备带硅的方法及硅片直接成形装置制造方法及图纸

技术编号:8621802 阅读:225 留言:0更新日期:2013-04-25 03:20
本发明专利技术公开了一种直接成形制备带硅的方法,在硅片和硅熔体的固液界面区域施加交变磁场,在固液界面前沿处的硅熔体中形成感生电流,通过交变磁场和感生电流的共同作用,在固液界面处形成垂直固液界面并指向硅熔体内部的电磁挤压力,调整电磁挤压力的大小,使电磁挤压力完全抵消硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而使柔性的电磁力约束并稳定固液界面的形状,使柔性的电磁力约束的硅熔体成形并持续凝固,然后将凝固的带状硅铸坯持续拉出,直接制备带硅。本发明专利技术还公开了一种硅片直接成形装置,包括硅料熔化保温装置、加料装置、直拉引锭装置和带硅软接触成形装置,直接制备带硅,实现洁净生产,减少硅片缺陷,实现大规模直接生产带硅的工业应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光伏材料制备工艺和装置,特别是涉及一种硅材料制备工艺和装置,应用于制备太阳能级带硅。
技术介绍
在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天,利用硅晶体所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。传统的太阳能电池使用的硅片是由硅锭切割而来,由于目前的线锯技术的局限,硅锭加工成硅块约有30%的娃材料会被损失,而娃块加工成娃片大概有34-50%的娃材料会被损失,而切割出来的娃片又需要检测筛选,后续的工序同样会造成损失。因此,采用改良西门子法制备的多晶硅,通过直拉单晶或者方形铸锭,再切割成硅片的工艺中存在巨大的材料切割损失,这将导致太阳能硅片的成本大大增加。而采用带硅制备技术,直接从硅熔体中定向凝固形成最终厚度的硅片,可以避免大量的切割损失,提高生产效率,因而可以大大降低太阳能硅片的生产成本,因此成为当今太阳能硅片制备的重要开发方向。目前开发的从硅熔体直接生产带硅的方法主要有线拉法(SR)、定边喂膜法(EFG)、衬底带状生长法(RGS)、粉末熔敷生长法(SSP)等。线拉法和定边喂膜法等都需要引入耐高温细丝或者石墨模具,不可避免对硅熔体造成污染,进而影响到硅片的光电转化效率。衬底带状生长法和粉末熔敷生长法等则同样面临衬底材料的污染以及衬底材料的剥离等难点而无法实现大规模的工业应用,且制备的硅片仍然存在很多缺陷,其光电转换效率仍然较低。因此,要提高硅片的光电转化效率,必须开发新的硅片直接成型技术。对线拉法和定边喂膜法而言,耐高温细丝和石墨模具的引入主要是为了克服上拉法制备硅片时,固液界面处表面张力的径向拉升,因此,如果不能采用合适的方法取代耐高温细丝或石墨模具,就不能制备出性能更为优异的硅片
技术实现思路
为了解决现有技术问题,本专利技术的目的在于克服已有技术存在的缺陷,提供一种直接成形制备带硅的方法及硅片直接成形装置,约束硅片成形过程中的固液界面,进而稳定控制固液界面的形状,直接制备带硅,消除生产过程中对硅熔体造成污染,减少硅片缺陷,提高硅片的光电转化效率,实现大规模的直接生产带硅的工业应用。为达到上述专利技术创造目的,本专利技术的构思如下 本专利技术主要是在硅片的上拉法工艺中,在硅片和硅熔体的固液界面处,设置感应线圈,往感应线圈中通入交变电流,产生交变磁场。由于硅熔体是导电性良好的液体,在交变磁场作用下,在硅片和硅熔体的固液界面处将形成一个感生电流,该感生电流与交变磁场的共同作用,将在硅片和硅熔体的固液界面处形成向里的电磁挤压力。电磁挤压力通过对硅片宽边固液界面处熔体的挤压,克服硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而达到约束和稳定固液界面的效果。由于通过交变磁场诱生的电磁挤压力是无接触的,故不会污染硅熔体,从而可保证硅片的纯净度,进而提高硅片的电学性能。电磁力的大小可以通过调整感应线圈中的交变电流大小和频率来自由调整,控制电磁挤压力大小,使电磁挤压力刚好抵消硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而可以获得良好的硅片外形,因此本专利技术具有很好的可操控性。由于本方法适用于所有导电熔体,因此,采用本方法可以用于所有熔体状态具有良好导电率的元素或合金材料之薄片材料的制备。根据以上专利技术构思,本专利技术采用下述技术方案 一种直接成形制备带硅的方法,在固体的硅片和硅熔体的固液界面区域施加交变磁场,而交变磁场又在固液界面前沿处的硅熔体中形成感生电流,通过交变磁场和感生电流的共同作用,在硅片和硅熔体的固液界面处,形成垂直固液界面并指向硅熔体内部的电磁挤压力,通过调整交变磁场强度来调整电磁挤压力的大小,使电磁挤压力完全抵消硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而使柔性的电磁力约束并稳定硅片和硅熔体的固液界面的形状,保持硅熔体的温度恒定,特别同时在硅片和硅熔体的固液界面区域设置冷却温度梯度,使柔性的电磁力约束的硅熔体成形并持续凝固,然后将凝固的带状硅铸坯持续拉出,直接制备带硅。上述交变磁场优选通过感应线圈产生,即在硅熔体初始凝固的液固界面区域,围绕硅片非接触设置感应线圈,通过改变感应线圈中的交变电流大小和频率,来调整电磁挤压力的大小。上述感应线圈的匝数为I 1000匝,通入感应线圈的电流大小0-100000A。优选保持硅熔体温度恒定在1430 1450°C区间中的某一温度,制备带硅的硅熔体带状铸坯提拉速度优选为O.1 1000mm/min,硅熔体带状铸坯厚度优选为50 1000微米,硅熔体带状铸坯的宽度最好为40 500毫米。将上述初始凝固的硅熔体带状铸坯拉出所采用的籽晶硅片优选为单晶硅片、多晶硅片或者准单晶硅片。为了实现上述直接成形制备带硅的方法,本专利技术还提供一种硅片直接成形装置,包括硅料熔化保温装置、加料装置、直拉引锭装置和带硅软接触成形装置,具体为硅料熔化保温装置为真空炉,由石英坩埚、保温石墨筒、加热装置、保温石墨毡、热电偶、温控仪和炉壳构成,加热装置采用感应加热或者电阻加热的方式进行加热,加热装置与真空炉外的外部电源连接,热电偶与温控仪信号连接,通过热电偶实时检测石英坩埚的温度,对外部电源形成信号反馈,通过温控仪控制加热装置的加热输出功率,进而控制在坩埚内的硅熔体的温度,将坩埚置于保温石墨筒中,保温石墨筒的外围周边设置加热装置,将石英坩埚、保温石墨筒和加热装置一起整套置入由保温石墨毡形成的杯形筒中,一并安装在真空炉的内腔中;加料装置为安装在炉壳上的加料传动夹持装置,在真空炉的内腔中,加料传动夹持装置夹持硅料的顶端,持续将硅料的底端浸入坩埚内的硅熔体中,使硅料自下而上逐渐熔化,同时保持硅熔体的液位相对恒定;围绕硅熔体的初始凝固的固液界面区域还设置冷却装置,通过冷却装置控制硅片和硅熔体的固液界面区域的冷却温度梯度,使当硅熔体凝固形成铸坯时,直拉引锭装置的夹持机构夹持籽晶硅片,进而通过籽晶硅片直接牵引凝固的硅片从硅熔体中持续拉出;带硅软接触成形装置为感应线圈,在硅熔体初始凝固的固液界面区域,感应线圈围绕硅片进行非接触设置,感应线圈靠近固液界面区域设置的冷却装置进行安装,感应线圈向硅熔体初始凝固的固液界面区域施加交变磁场,而交变磁场又在固液界面前沿处的硅熔体中形成感生电流,感生电流与感应线圈中的电流方向相反,通过感生电流与交变磁场的共同作用,在硅片和硅熔体的固液界面区域,形成垂直固液界面并指向硅熔体内部的电磁挤压力,通过调整交变磁场强度来调整电磁挤压力的大小,使电磁挤压力完全抵消硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而使柔性的电磁挤压力约束并稳定硅片和硅熔体的固液界面的形状,将感应线圈接入调压调频交流电源中,通过调节通入感应线圈的电流强度和频率,对固液界面区域的硅熔体固液界面的形状进行约束。上述感应线圈和围绕硅熔体初始凝固的固液界面区域设置的冷却装置之间一体结合,形成冷却式感应线圈。冷却式感应线圈最好为水冷感应线圈。单匝上述感应线圈所在的平面与硅片之间最好呈空间正交角度。上述感应线圈的形状为长方形、椭圆形或长宽比大于I且两端呈圆弧的异型感应线圈。本专利技术与现有技术相比较,具有如下显而易见的突出实质性特点和显著优点 1.在带硅制备中采用电磁感应的方法,在固液界面前沿诱生电磁力,可实现无污染、稳定控制; 2.电磁力大小可以通过调整通入线圈中的交变电流大小和频率来灵活调整,可以适合于多种尺寸的本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种直接成形制备带硅的方法,其特征在于:在固体的硅片和硅熔体的固液界面区域施加交变磁场,而交变磁场又在固液界面前沿处的硅熔体中形成感生电流,通过交变磁场和感生电流的共同作用,在硅片和硅熔体的固液界面处,形成垂直固液界面并指向硅熔体内部的电磁挤压力,通过调整交变磁场强度来调整电磁挤压力的大小,使电磁挤压力完全抵消硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而使柔性的电磁力约束并稳定硅片和硅熔体的固液界面的形状,保持硅熔体的温度恒定,特别同时在硅片和硅熔体的固液界面区域设置冷却温度梯度,使柔性的电磁力约束的硅熔体成形并持续凝固,然后将凝固的带状硅铸坯持续拉出,直接制备带硅。

【技术特征摘要】
1.一种直接成形制备带硅的方法,其特征在于在固体的硅片和硅熔体的固液界面区域施加交变磁场,而交变磁场又在固液界面前沿处的硅熔体中形成感生电流,通过交变磁场和感生电流的共同作用,在硅片和硅熔体的固液界面处,形成垂直固液界面并指向硅熔体内部的电磁挤压力,通过调整交变磁场强度来调整电磁挤压力的大小,使电磁挤压力完全抵消硅片窄边固液界面处向内的表面张力,从而使柔性的电磁力约束并稳定硅片和硅熔体的固液界面的形状,保持硅熔体的温度恒定,特别同时在硅片和硅熔体的固液界面区域设置冷却温度梯度,使柔性的电磁力约束的硅熔体成形并持续凝固,然后将凝固的带状硅铸坯持续拉出,直接制备带硅。2.根据权利要求1所述的直接成形制备带硅的方法,其特征在于交变磁场通过感应线圈产生,即在硅熔体初始凝固的液固界面区域,围绕硅片非接触设置所述感应线圈,通过改变所述感应线圈中的交变电流大小和频率,来调整电磁挤压力的大小。3.根据权利要求2所述的直接成形制备带硅的方法,其特征在于所述感应线圈的匝数为I 1000匝,通入所述感应线圈的电流大小0-100000A。4.根据权利要求1 3中任意一项所述的直接成形制备带硅的方法,其特征在于保持硅熔体温度恒定在1430 1450°C区间中的某一温度,制备带硅的硅熔体带状铸坯提拉速度为O.1 1000mm/min,硅熔体带状铸坯厚度为50 1000微米,硅熔体带状铸坯的宽度为40 500晕米。5.根据权利要求1 3中任意一项所述的直接成形制备带硅的方法,其特征在于将初始凝固的硅熔体带状铸坯拉出所采用的籽晶硅片为单晶硅片、多晶硅片或者准单晶硅片。6.一种实现权利要求1 3中任意一项所述的直接成形制备带娃的方法的娃片直接成形装置,其特征在于,包括硅料熔化保温装置、加料装置、直拉引锭装置(11)和带硅软接触成形装置,具体为 所述硅料熔化保温装置为真空炉,由石英坩埚(5)、保温石墨筒(6)、加热装置(7)、保温石墨毡(8)、热电偶(9)、温控仪(10)和炉壳(12)构成,所述加热装置(7)采用感应加热或者电阻加热的方式进行加热,所述加热装置(7)与真空炉外的外部电源连接,所述热电偶(9)与所述温控仪(10)信号连接,通过所述热电偶(9)实时检测所述石英坩埚(5)的温度,对外部电源形成信号反馈,通过所述温控仪(10)控制所述加热装置(7)的加热输出功率,进而控制在所述坩埚(8)内的硅熔体(3)的温度,将所述坩埚(5)置于所述保温石墨筒(6)中,所述保温石墨筒(6)的外围周边设置加热装置(7),...

【专利技术属性】
技术研发人员:钟云波沈喆黄靖文龙琼孙宗乾吴秋芳李甫周鹏伟董立城郑天祥
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:

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