【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于显示装置的基板,更具体地,涉及一种用于识别在用于显示装置的基板上形成的精细图案的移位程度(shift level)的方法。
技术介绍
作为用于代替作为早期的显示装置的阴极射线管的显示装置,液晶显示装置、等离子显示面板和有机发光显示装置已被开发。 通过在基板上形成诸如薄膜晶体管之类的各种精细图案来制造显示装置,并且各种测试工艺被执行,以确定在显示装置的制造过程期间或者在完成了制造过程之后在显示装置中是否存在缺陷。作为显示装置的测试工艺之一,提供了一种用于识别基板上形成的精细图案的移位程度的处理。以下,将参照附图描述根据相关技术的用于识别在用于显示装置的基板上形成的精细图案的移位程度的方法。图1A和图1B是示出根据相关技术的用于识别精细图案的移位程度的方法的平面图。在描述详细的工艺之前,将参照图1A和图1B简要描述整个基板的布局。可在基板I上形成多个有源区域10 (例如,两个有源区域10)。各个有源区域通过划线工艺被切害I],然后构成显示装置的面板。构成显示装置的面板的多个有源区域10中的每一个均设置有各种图案11和12,并且在所述多个有源区域 ...
【技术保护点】
一种制造用于显示装置的基板的方法,所述方法包括以下步骤:在所述基板的有源区域内形成第一图案,并同时在所述有源区域的角区域形成第一交叠图案;以及在所述基板的所述有源区域内形成第二图案,并同时在所述有源区域的角区域形成第二交叠图案,其中,所述第一交叠图案包括沿预定方向设置的标度,并且所述第二交叠图案包括沿所述预定方向设置的标度以面对所述第一交叠图案的标度。
【技术特征摘要】
2011.10.07 KR 10-2011-01022611.一种制造用于显示装置的基板的方法,所述方法包括以下步骤在所述基板的有源区域内形成第一图案,并同时在所述有源区域的角区域形成第一交置图案;以及在所述基板的所述有源区域内形成第二图案,并同时在所述有源区域的角区域形成第二交叠图案,其中,所述第一交叠图案包括沿预定方向设置的标度,并且所述第二交叠图案包括沿所述预定方向设置的标度以面对所述第一交叠图案的标度。2.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一交叠图案包括第一子图案,其具有沿第一方向设置的标度;以及第二子图案,其具有沿与第一方向不同的第二方向设置的标度,其中,所述第二交叠图案包括第三子图案,其具有沿所述第一方向设置的标度;以及第四子图案,其具有沿所述第二方向设置的标度,并且其中,所述第一子图案和所述第三子图案彼此对称地相面对,所述第二子图案和所述第四子图案彼此对称地相面对。3.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一交叠图案还包括所述标度的编号、所述编号的符号和表示所述第一图案的标题中的至少一个,并且其中,所述第二交叠图案还包括所述标度的编号、所述编号的符号和表示所述第二图案的标题中的至少一个。4.如权利要求1所述的方法,其中,在所述有源区域内的一个角区域形成多个所述第一交叠图案。5.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一图案包括选通图案,所述第一交叠图案包括选通交叠图案,并且其中,所述第二图案包括数据图...
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