导流筒和单晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种导流筒和单晶炉。导流筒包括：内筒，内筒包括真空腔；外筒，外筒与内筒连接。由于导流筒内壁设置了真空腔，所以导流筒在工作过程中，能有效的隔绝热量透过导流筒辐射到晶体表面，从而减少了热场的热量损失，起到了隔热保温的作用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶生长制造领域，更具体地，涉及一种导流筒和单晶炉。
技术介绍
随着单晶炉技术的发展，直拉法单晶生长技术已经由原来的无导流筒技术发展到目前的导流筒技术，为了降低直拉法单晶生长的成本，最有效的办法就是提高晶体生长技术和降低热场消耗。现有技术中的导流筒，筒壁由石墨结构或钥材料构成。但是，石墨材质具有良好的导热性，热场传递到筒壁部分后就会散失出去。石墨结构的筒壁会导致热量的散失，从而不能有效地降低单晶炉工作过程中的热量损失，不能有效地提高单晶棒的生长速度。另外，钥材料本身属于反射性材质，不具有保温特性，对于增大热场纵向温度梯度方面效果较好，但是在降低能耗方面的效果不理想。
技术实现思路
本技术旨在提供一种导流筒和单晶炉，以解决现有技术的导流筒不能有效保温的问题。为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，提供了一种导流筒，包括内筒，内筒包括真空腔；外筒，外筒与内筒连接。进一步地，内筒包括内筒内壁和内筒外壁，真空腔形成于内筒内壁与内筒外壁之间。进一步地，内筒由石英制成。进一步地，内筒与外筒之间形成腔体。进一步地，导流筒还包括保温毡，保温毡设置于腔体中。进一步地，保温毡填充满腔体。进一步地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导流筒，其特征在于，包括：内筒（1），所述内筒（1）包括真空腔（13）；外筒（2），所述外筒（2）与所述内筒（1）连接。

【技术特征摘要】
1.一种导流筒，其特征在于，包括 内筒(1)，所述内筒(I)包括真空腔(13); 外筒(2)，所述外筒(2)与所述内筒(I)连接。2.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于，所述内筒(I)包括内筒内壁(11)和内筒外壁(12)，所述真空腔(13)形成于所述内筒内壁(11)与所述内筒外壁(12)之间。3.根据权利要求1或2所述的导流筒，其特征在于，所述内筒(I)由石英制成。4.根据权利要求1所述的导流筒，其特征在于，所述内筒(I)与所述外筒(2)之间形成腔体(3)。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹东坡，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：