【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法,属于触控面板技术研究领域,尤指覆金属膜材料中的ITO的测试方法探究。
技术介绍
目前触摸屏行业使用的原材料有覆金属ITO导电膜,结构为PET或玻璃基材上溅镀ITO透明导电材料,再溅镀铜镍等金属材料,以增加成品触控面板边框引线的导电性。但原料中的ITO因为在金属层下方,无法直接测量方阻。本专利技术是用金属选择性蚀刻液蚀刻掉金属层,留下ITO层,再测试材料底层的ITO方阻,以保证原材料的质量可靠性。
技术实现思路
技术目的本专利技术是要提供覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法,解决覆金属原料中ITO方阻的测试方法,从而保证原材料的质量可靠性。技术方案本专利技术公开覆金属ITO膜方阻的测试方法,包括如下步骤 步骤一取大小适中的覆金属ITO膜样品; 步骤二 选择合适的金属选择性蚀刻液; 步骤三将样品投入该蚀刻液中,蚀刻掉金属层,留下ITO层; 步骤四取出上述蚀刻掉金属层后ITO膜,水洗干燥后测量ITO的9点方阻; 步骤五与原材料厂家提供的ITO方阻进行比对。有益效果本专利技术公开了覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法,通过该方法可判断覆金属ITO膜ITO层的方阻大小,从而判断原材料的质量可靠性。附图说明图1 :覆金属ITO膜剖面图;图2 :蚀刻掉金属层后ITO膜剖面 简单符号说明1、基材;2、ITO层;3、金属层。具体实施例方式下面是本专利技术的具体实施例来进一步描述 本专利技术公开覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法,包括如下步骤 步骤一取大小适中的覆金属ITO膜样品; 步骤二 选择合适的金属选择性蚀刻 ...
【技术保护点】
覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法,其特征包括如下步骤:步骤一:取大小适中的覆金属ITO膜样品;步骤二:选择合适的金属选择性蚀刻液;步骤三:将样品投入该蚀刻液中,蚀刻掉金属层,留下ITO层;步骤四:取出上述蚀刻掉金属层后ITO膜,水洗干燥后测量ITO的9点方阻;步骤五:与原材料厂家提供的ITO方阻进行比对。
【技术特征摘要】
1.覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法,其特征包括如下步骤 步骤一取大小适中的覆金属ITO膜样品; 步骤二 选择合适的金属选择性蚀刻液; 步骤三将样品投入该蚀刻液中,蚀刻掉金属层,留下ITO层; 步骤四取出上述蚀刻掉金属层后ITO膜,水洗干燥后测量ITO的9点方阻; 步骤五与原材料厂家提供的ITO方阻进行比对。2....
【专利技术属性】
技术研发人员:张新玲,王连荣,唐毅晟,张滨,史小锋,
申请(专利权)人:烟台正海科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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