石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，它涉及一种镀裂解碳装置，本实用新型专利技术为解决生长含锂的半导体在温度高于800℃时，锂挥发导致生长单晶体用石英管内壁发生严重腐蚀、甚至石英管破裂以及现有的石墨坩埚含有大量的孔隙导致表面粗糙、不利于生长单晶体的问题。石英管沉淀管平放在加热炉内且管口设置在加热炉外，石英管沉淀管内的侧壁设置有石英支架；将待镀石墨坩埚设置在石英管沉淀管内并通过石英支架支撑，沉淀管盖紧密套装在石英管沉淀管管口处的外壁上，第一进气管的一端穿过沉淀管盖的第一盖孔设置在待镀石墨坩埚的底部。本实用新型专利技术用于在石英管或石墨坩埚上镀裂解碳。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀裂解碳装置。
技术介绍
目前，含锂的半导体在温度高于800℃时都有锂的挥发，致使生长单晶体用石英管内壁发生严重腐蚀，甚至石英管破裂；另外，现有石墨坩埚含有大量的孔隙导致表面粗糙不利于生长单晶体。采用在石英管内壁和石墨坩埚表面镀裂解碳的方法可以解决上述问题。
技术实现思路
本技术为解决生长含锂的半导体在温度高于800℃时，锂挥发导致生长单晶体用石英管内壁发生严重腐蚀、甚至石英管破裂以及现有的石墨坩埚含有大量的孔隙导致表面粗糙、不利于生长单晶体的问题，进而提供一种石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置。本技术为解决上述技术问题采取的技术方案是：石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置包括加热炉、石英管沉淀管、沉淀管盖、石英支架、第一进气管、第一排气管、玻璃通气管道、第二进气管、第二排气管、第一二通阀、第二二通阀、气体流量计、装高纯丙酮的容器、带有小孔的石英管和两个开关阀门，沉淀管盖端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔，沉淀管盖上位于第一盖孔的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔，带有小孔的石英管的底端管壁中心处加工有第一通孔，所述底端管壁上环绕第一通孔均匀加工有多个第二通孔，石英管沉淀管平放在加热炉内且管口设置在加热炉外，石英管沉淀管内的侧壁设置有石英支架；将待镀石墨坩埚设置在石英管沉淀管内并通过石英支架支撑，沉淀管盖紧密套装在石英管沉淀管管口处的外壁上，第一进气管的一端穿过沉淀管盖的第一盖孔设置在待镀石墨坩埚的底部，或者将待镀石英管设置在石英管沉淀管内并通过石英支架支撑，带有小孔的石英管紧密贴合设置在待镀石英管内的管口一端，沉淀管盖紧密套装在石英管沉淀管管口处的外壁上，第一进气管的一端依次穿过沉淀管盖的第一盖孔和带有小孔的石英管的第一通孔设置在待镀石英管的底部，带有小孔的石英管、待镀石墨坩埚和待镀石英管的开口方向与石英管沉淀管的开口方向相同；第一排气管的一端穿过第二盖孔设置在石英管沉淀管内的管口端，第一排气管的另一端设置在石英管沉淀管外，玻璃通气管道包括第一玻璃通气管、第二玻璃通气管、第三玻璃通气管、第四玻璃通气管和第五玻璃通气管，第一玻璃通气管、第二玻璃通气管、第三玻璃通气管、第四玻璃通气管和第五玻璃通气管依次连通设置为一体，第二玻璃通气管的侧壁上连通设置有第二进气管，第二进气管的侧壁上连通设置有气体流量计，第二进气管和第二玻璃通气管连接处的内部设置有第一二通阀，第四玻璃通气管的侧壁上连通设置有第二排气管，第四玻璃通气管和第二排气管连接处的内部设置有第二二通阀，第一玻璃通气管和第五玻璃通气管的内部各设置有一个开关阀门，第一玻璃通气管和第五玻璃通气管的下端设置在装高纯丙酮的容器内，第一玻璃通气管的下端位于丙酮溶液内，第五玻璃通气管的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一进气管的另一端与第二排气管连通固接。本技术与现有技术相比具有以下有益效果：本技术可在石墨坩埚或石英管表面镀裂解碳，阻碍了单晶生长原料与石墨的接触，避免了石墨坩埚内部杂质对单晶体的污染，同时保持了单晶体完整光滑的外形。带有小孔的石英管，保护了待镀石英管管口处不需要镀裂解碳的部位。控制开关阀门的启闭和调节二通阀可以改变气体流通方向，调节气体流量计控制气体流量和镀裂解碳速率，同时，通过调节气体流量计和开关阀门的启闭调节反应速率，可操作性强、清洗方便。附图说明图1是本技术用于石墨坩埚镀裂解碳时的主视图，图2是本技术用于石英管镀裂解碳时的主视图，图3是图1和图2中沉淀管盖的左视图，图4是图3中A-A面的剖面图，图5是图2中带有小孔的石英管的左视图。具体实施方式具体实施方式一：结合图1～图5说明，本技术的石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置包括加热炉1、石英管沉淀管2、沉淀管盖3、石英支架4、第一进气管5、第一排气管6、玻璃通气管道7、第二进气管8、第二排气管9、第一二通阀10、第二二通阀11、气体流量计12、装高纯丙酮的容器13、带有小孔的石英管14和两个开关阀门15，沉淀管盖3端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔3-1，沉淀管盖3上位于第一盖孔3-1的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔3-2，带有小孔的石英管14的底端管壁中心处加工有第一通孔14-1，所述底端管壁上环绕第一通孔14-1均匀加工有多个第二通孔14-2，石英管沉淀管2平放在加热炉1内且管口设置在加热炉1外，石英管沉淀管2内的侧壁设置有石英支架4；将待镀石墨坩埚16设置在石英管沉淀管2内并通过石英支架4支撑，沉淀管盖3紧密套装在石英管沉淀管2管口处的外壁上，第一进气管5的一端穿过沉淀管盖3的第一盖孔3-1设置在待镀石墨坩埚16的底部，或者将待镀石英管17设置在石英管沉淀管2内并通过石英支架4支撑，带有小孔的石英管14紧密贴合设置在待镀石英管17内的管口一端，沉淀管盖3紧密套装在石英管沉淀管2管口处的外壁上，第一进气管5的一端依次穿过沉淀管盖3的第一盖孔3-1和带有小孔的石英管14的第一通孔14-1设置在待镀石英管17的底部，带有小孔的石英管14、待镀石墨坩埚16和待镀石英管17的开口方向与石英管沉淀管2的开口方向相同；第一排气管6的一端穿过第二盖孔3-2设置在石英管沉淀管2内的管口端，第一排气管6的另一端设置在石英管沉淀管2外，玻璃通气管道7包括第一玻璃通气管7-1、第二玻璃通气管7-2、第三玻璃通气管7-3、第四玻璃通气管7-4和第五玻璃通气管7-5，第一玻璃通气管7-1、第二玻璃通气管7-2、第三玻璃通气管7-3、第四玻璃通气管7-4和第五玻璃通气管7-5依次连通设置为一体，第二玻璃通气管7-2的侧壁上连通设置有第二进气管8，第二进气管8的侧壁上连通设置有气体流量计12，第二进气管8和第二玻璃通气管7-2连接处的内部设置有第一二通阀10，第四玻璃通气管7-4的侧壁上连通设置有第二排气管9，第四玻璃通气管7-4和第二排气管9连接处的内部设置有第二二通阀11，第一玻璃通气管7-1和第五玻璃通气管7-5的内部各设置有一个开关阀门15，第一玻璃通气管7-1和第五玻璃通气管7-5的下端设置在装高纯丙酮的容器13内，第一玻璃通气管7-1的下端位于丙酮溶液内，第五玻璃通气管7-5的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一进气管5的另一端与第二排气管9连通固接。晶体生长用石英管在装完原料之后，管口处需要进行熔封，而在需要熔封的部位不应有裂解碳，否则会导致熔封不严密。本实施方式设置有带有小孔的石英管14，用于保护其外部的待镀石英管17不被镀上裂解碳。具体实施方式二：结合本文档来自技高网...
【技术保护点】
石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，所述镀裂解碳装置包括加热炉(1)、石英管沉淀管(2)、沉淀管盖(3)、石英支架(4)、第一进气管(5)、第一排气管(6)、玻璃通气管道(7)、第二进气管(8)、第二排气管(9)、第一二通阀(10)、第二二通阀(11)、气体流量计(12)、装高纯丙酮的容器(13)、带有小孔的石英管(14)和两个开关阀门(15)，其特征在于：沉淀管盖(3)端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔(3?1)，沉淀管盖(3)上位于第一盖孔(3?1)的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔(3?2)，带有小孔的石英管(14)的底端管壁中心处加工有第一通孔(14?1)，所述底端管壁上环绕第一通孔(14?1)均匀加工有多个第二通孔(14?2)，石英管沉淀管(2)平放在加热炉(1)内且管口设置在加热炉(1)外，石英管沉淀管(2)内的侧壁设置有石英支架(4)；将待镀石墨坩埚(16)设置在石英管沉淀管(2)内并通过石英支架(4)支撑，沉淀管盖(3)紧密套装在石英管沉淀管(2)管口处的外壁上，第一进气管(5)的一端穿过沉淀管盖(3)的第一盖孔(3?1)设置在待镀石墨坩埚(16)的底部，或者将待镀石英管(17)设置在石英管沉淀管(2)内并通过石英支架(4)支撑，带有小孔的石英管(14)紧密贴合设置在待镀石英管(17)内的管口一端，沉淀管盖(3)紧密套装在石英管沉淀管(2)管口处的外壁上，第一进气管(5)的一端依次穿过沉淀管盖(3)的第一盖孔(3?1)和带有小孔的石英管(14)的第一通孔(14?1)设置在待镀石英管(17)的底部，带有小孔的石英管(14)、待镀石墨坩埚(16)和待镀石英管(17)的开口方向与石英管沉淀管(2)的开口方向相同；第一排气管(6)的一端穿过第二盖孔(3?2)设置在石英管沉淀管(2)内的管口端，第一排气管(6)的另一端设置在石英管沉淀管(2)外，玻璃通气管道(7)包括第一玻璃通气管(7?1)、第二玻璃通气管(7?2)、第三玻璃通气管(7?3)、第四玻璃通气管(7?4)和第五玻璃通气管(7?5)，第一玻璃通气管(7?1)、第二玻璃通气管(7?2)、第三玻璃通气管(7?3)、第四玻璃通气管(7?4)和第五玻璃通气管(7?5)依次连通设置为一体，第二玻璃通气管(7?2)的侧壁上连通设置有第二进气管(8)，第二进气管(8)的侧壁上连通设置有气体流量计(12)，第二进气管(8)和第二玻璃通气管(7?2)连接处的内部设置有第一二通阀(10)，第四玻璃通气管(7?4)的侧壁上连通设置有第二排气管(9)，第四玻璃通气管(7?4)和第二排气管(9)连接处的内部设置有第二二通阀(11)，第一玻璃通气管(7?1)和第五玻璃通气管(7?5)的内部各设置有一个开关阀门(15)，第一玻璃通气管(7?1)和第五玻璃通气管(7?5)的下端设置在装高纯丙酮的容器(13)内，第一玻璃通气管(7?1)的下端位于丙酮溶液内，第五玻璃通气管(7?5)的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一进气管(5)的另一端与第二排气管(9)连通固接。...
【技术特征摘要】
1.石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，所述镀裂解碳装置包括加热炉(1)、石英管沉淀管
(2)、沉淀管盖(3)、石英支架(4)、第一进气管(5)、第一排气管(6)、玻璃通气管道(7)、
第二进气管(8)、第二排气管(9)、第一二通阀(10)、第二二通阀(11)、气体流量计(12)、
装高纯丙酮的容器(13)、带有小孔的石英管(14)和两个开关阀门(15)，其特征在于：沉
淀管盖(3)端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔(3-1)，沉淀管盖(3)上位于第一
盖孔(3-1)的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔(3-2)，带有小孔的石英管(14)的
底端管壁中心处加工有第一通孔(14-1)，所述底端管壁上环绕第一通孔(14-1)均匀加工有
多个第二通孔(14-2)，石英管沉淀管(2)平放在加热炉(1)内且管口设置在加热炉(1)
外，石英管沉淀管(2)内的侧壁设置有石英支架(4)；将待镀石墨坩埚(16)设置在石英管
沉淀管(2)内并通过石英支架(4)支撑，沉淀管盖(3)紧密套装在石英管沉淀管(2)管
口处的外壁上，第一进气管(5)的一端穿过沉淀管盖(3)的第一盖孔(3-1)设置在待镀石
墨坩埚(16)的底部，或者将待镀石英管(17)设置在石英管沉淀管(2)内并通过石英支架
(4)支撑，带有小孔的石英管(14)紧密贴合设置在待镀石英管(17)内的管口一端，沉淀
管盖(3)紧密套装在石英管沉淀管(2)管口处的外壁上，第一进气管(5)的一端依次穿过
沉淀管盖(3)的第一盖孔(3-1)和带有小孔的石英管(14)的第一通孔(14-1)设置在待
镀石英管(17)的底部，带有小孔的石英管(14)、待镀石墨坩埚(16)和待镀石英管(17)
的开口方向与石英管沉淀管(2)的开口方向相同；第一排气管(6)的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：马天慧，孙亮，
申请(专利权)人：马天慧，
类型：实用新型
国别省市：
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