发光元件制造技术

技术编号:8490959 阅读:126 留言:0更新日期:2013-03-28 18:10
本发明专利技术公开一种发光元件,该发光元件包括:半导体叠层;反射层,位于半导体叠层之上;第一缓冲层,包括由金属元素及非金属元素所组成的化合物,位于反射层之上;第一电极;以及电性绝缘层,位于第一缓冲层与第一电极之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种发光元件,尤其涉及具改善性能表现的发光二极管。
技术介绍
倒装结构(Flip Chip)的发光二极管LED为了增加光的反射,如图1所示,会在第二半导体层123 (例如P型半导体层)上设置金属反射层(miiror)130。而为了增加倒装接合时的接合面积,与第一半导体层121 (例如η型半导体层)电性相接的第一电极150 (例如η型电极),除了和第一半导体层121接触的接触区150a外,也会向周围延伸,如图1的延伸区150b。如此,在金属反射层130和第一半导体层121的第一电极150的延伸区150b间,需要施作电性绝缘层140,以电性隔绝两者。为了改善电性,金属反射层130需要经过热处理工艺(如退火)以达到优选的欧姆接触特性,经过热处理后,此金属反射层130和底下的第二半导体层123的接触会较好,可降低元件的正向电压Vf。但在热处理之后,因为热处理使得金属发生氧化变质,降低后续的附着力,使金属反射层130与后续覆盖其上的电性绝缘层140间的附着力不佳,造成在后续工艺,例如在制作金属电极光致抗蚀剂剥离(liftoff)工艺时,产生电性绝缘层140(及已覆盖于其上的各层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光元件,包括:半导体叠层;反射层,位于该半导体叠层之上;第一缓冲层,包括由金属元素及非金属元素所组成的化合物,位于该反射层之上;第一电极;以及电性绝缘层,位于该第一缓冲层与该第一电极之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王佳琨沈建赋陈昭兴杨於铮叶慧君古依雯陈宏哲林植南
申请(专利权)人:晶元光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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