单晶体生产的装料方法及预装料坩埚技术

本发明专利技术公开了一种单晶体生产的装料方法，包括：向置于单晶炉外的石英坩埚装料；在已装好料的石英坩埚上加盖一与所述石英坩埚紧密扣合的预装料盖；使用吊车勾吊预装料盖以使石英坩埚提起，再放入单晶炉热场的石墨坩埚中；使所述预装料盖和所述石英坩埚脱离，再由吊车吊走预装料盖，完成单晶体生产的装料。采用本发明专利技术的单晶体生产的装料方法，节省了单晶炉的有效利用时间，降低了因为装料不规范而造成挂边、搭桥等事故的发生。本发明专利技术还涉及用于单晶体生产的装料方法的预装料坩埚。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种单晶体装料方法，具体来说涉及一种在单晶炉外进行装料的单晶体生产的装料方法。本专利技术还涉及一种用于单晶体生产的预装料坩埚。
技术介绍
电子级及太阳能级硅单晶体直拉法生产过程中，装料是很关键的过程。现有技术的做法是将空的石英坩埚先放在单晶炉热场内的石墨坩埚中，再把多晶硅料逐次装入石英坩埚中。因为装料过程需要很仔细，因此一般装料在一个小时左右。专利技术人发现，将石英坩埚放在单晶炉内装料，这样既浪费单晶炉的有效利用时间，又容易在短暂的装料时间内，发生装料不规范造成挂边、搭桥的事故。同时单晶车间内部其他车间的拆炉、清理工作容易造成对材料的污染。另外，现有技术的工艺及设备条件也并不适合在单晶炉外进行预装料操作，因为当多晶硅料装入石英坩埚后，会非常重，一般都在100KG以上，且石英坩埚比较脆， 壁较薄(IOmm左右)。而且石英坩埚的外形和需要放入的石墨坩埚的内形要一致，只是石英 甘祸调试稍闻20mm左右。因此如果把石央樹祸放入石墨樹祸，只能夹住石央樹祸闻出石墨坩埚的部分。如果采用夹持的方法只能通过摩擦力来克服重力，这就需要很大的夹持力，这样石英坩埚的壁很难承受。因此现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶体生产的装料方法，其特征在于，包括：步骤一，向置于单晶炉外的石英坩埚装料；步骤二，在已装好料的所述石英坩埚上加盖一与所述石英坩埚紧密扣合的便于吊车勾吊的预装料盖；步骤三，使用吊车勾吊所述预装料盖以使与所述预装料盖扣合的所述石英坩埚缓慢提起，将所述石英坩埚放入单晶炉热场的石墨坩埚中；使所述预装料盖和所述石英坩埚脱离，再由吊车吊走所述预装料盖，完成单晶体生产的装料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孟涛，闫永兵，
申请(专利权)人：镇江仁德新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：