热场坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种热场坩埚，包括锅底和锅身，且锅身的外径D为606mm，所述锅身的内径d为：565mm≤d≤585mm。优化后，锅身的内径d为：d＝580mm；锅身为碳碳材料制备而成的锅身。本实用新型专利技术所具有的优点是：工人操作难度不会增加，且较为安全。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制备设备
，尤其是涉及ー种热场坩埚。
技术介绍
现有的炉体的大小局限了热场的尺寸，致使大尺寸热场必须配备大型的单晶炉。这样，在热场坩埚尺寸大小不变的情况下，只有通过适当的増加其高度，方可增加投料量。但是，随着热场坩埚高度的増加，増加了操作的难度，且具有一定的安全隐患。因此有必要予以改进。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的不足，本技术的目的是提供ー种热场坩埚，它具有工人操作难度不会増加，且较为安全的特点。·为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是热场坩埚，包括锅底和锅身，且锅身的外径D为606mm,所述锅身的内径d为565mm ^ d ^ 585mm。所述锅身的内径d为d = 580mm。所述锅身为碳碳材料制备而成的锅身。采用上述结构后，本技术和现有技术相比所具有的优点是工人操作难度不会増加，且较为安全。本技术的热场坩埚通过减薄锅体壁厚，増加了热场坩埚的内径大小，进而增加了热场坩埚的内部容积。这种增加容积的的方式避免了采取增加热场坩埚的高度的方式，从而工人的操作难度不会因为坩埚内部变深而增加。而较低的热场坩埚的高度，避免出现坩埚翻转等情况，较为安全。以下结合附图和本文档来自技高网...

【技术保护点】
热场坩埚，包括锅底(10)和锅身(20)，且锅身(20)的外径D为606mm，其特征在于：所述锅身(20)的内径d为：565mm≤d≤585mm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐旭辉，高彬彬，
申请(专利权)人：江苏聚能硅业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：