一种声表面波(SAW)换能器制造技术

技术编号:8454768 阅读:169 留言:0更新日期:2013-03-21 23:37
本发明专利技术公开了一种声表面波(SAW)换能器,包括基底、叉指换能器电极组成,其特征在于,所述基底采用的是金刚石/ALN/Al/BN多层膜结构,所述叉指换能器电极采用的是AL/ALN双层膜结构。本发明专利技术可以实现高频、低传播损耗、高机电耦合系数、指条寿命长的需求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种声表面波(SAW)换能器,包括基底、叉指换能器电极组成,其特征在于,所述基底为金刚石/ALN/Al/?BN多层膜结构,所述叉指换能器电极是AL/ALN双层膜结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱小萍刘传祥郑庆华
申请(专利权)人:淮南联合大学朱小萍刘传祥郑庆华
类型:发明
国别省市:

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