【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种声表面波(SAW)换能器,包括基底、叉指换能器电极组成,其特征在于,所述基底为金刚石/ALN/Al/?BN多层膜结构,所述叉指换能器电极是AL/ALN双层膜结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱小萍,刘传祥,郑庆华,
申请(专利权)人:淮南联合大学,朱小萍,刘传祥,郑庆华,
类型:发明
国别省市:
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