下载一种声表面波(SAW)换能器的技术资料

文档序号:8454768

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本发明公开了一种声表面波(SAW)换能器,包括基底、叉指换能器电极组成,其特征在于,所述基底采用的是金刚石/ALN/Al/BN多层膜结构,所述叉指换能器电极采用的是AL/ALN双层膜结构。本发明可以实现高频、低传播损耗、高机电耦合系数、指条...
该专利属于淮南联合大学;朱小萍;刘传祥;郑庆华所有,仅供学习研究参考,未经过淮南联合大学;朱小萍;刘传祥;郑庆华授权不得商用。

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