压电石英基片高频率声表面横波谐振器制造技术

技术编号:8183451 阅读:168 留言:0更新日期:2013-01-09 00:44
压电石英基片高频率声表面横波谐振器,包括压电石英基片,该压电石英基片上表面安装有四个相同金属膜厚度的电极、两组反射器、两组叉指换能器和一个中间短路栅,在所述电极的上表面上附着一层加厚的金属电极膜,金属电极膜的厚度大于该电极的厚度,金属电极膜的材料为铝;本实用新型专利技术不改变反射器、叉指换能器和中间短路栅的金属膜形状和厚度,仅在电极的上表面上附着一层较厚的金属电极膜,压电石英基片高频率声表面横波谐振器的电性能不受影响,从而保证了压电石英基片高频率声表面横波谐振器的低损耗、高Q值等原有的电性能,同时金属电极膜与原有的电极紧密附着,保证金属电极膜厚度满足点焊引线要求,增强了引线点焊的可靠性。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
压电石英基片高频率声表面横波谐振器,包括压电石英基片(1),该压电石英基片(1)上表面安装有四个相同金属膜厚度的电极(2)、两组反射器(3)、两组叉指换能器(4)和一个中间短路栅(5),其特征在于,在所述电极(2)的上表面上附着一层加厚的金属电极膜(7)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周卫曾武杨正兵朱明陈峻周琴珍
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第二十六研究所
类型:实用新型
国别省市:

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