一种声电荷输运延迟线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种声电荷输运延迟线，包括基片，基片中部设有电荷输运沟道，基片上位于电荷输运沟道两侧的位置设有输入电极和输出电极，所述基片上位于输入电极和输出电极的外侧设有分裂指声表面波叉指换能器。本实用新型专利技术的优点是：（1）采用气相沉积方法便于获得质量高、性能优异的并五苯薄膜，利于形成高质量的声电荷输运沟道；（2）并五苯材料具有优异的延展性，便于声电荷延迟线此类大尺寸器件制作；（3）采用并五苯材料进行声电荷延迟线器件制作可重复性高。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种声电荷输运延迟线，其特征在于，包括基片，基片中部设有电荷输运沟道，基片上位于电荷输运沟道两侧的位置设有输入电极和输出电极，所述基片上位于输入电极和输出电极的外侧设有分裂指声表面波叉指换能器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓彧，吴浩东，陈江龙，
申请(专利权)人：镇江畅信超声电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：