【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路，尤其是涉及一种集成波导及其制作方法。
技术介绍
1、通常情况下，波导结构采用空气填充的金属腔体，实现电磁波的传输。为了实现波导结构的集成化，出现了基片集成波导(substrate integrated waveguide，siw)，通过在双面金属化的基板中引入周期性金属化过孔阵列的方式，实现类似于金属矩形腔体波导的特性，这种方式需要在基板上加工大量的过孔，同时需要将过孔进行金属化处理。对应的工艺过程较为复杂，效率低，且集成密度受限。
2、因此，目前亟需一种简单高效的集成波导技术方案。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种简单高效的集成波导技术方案，以降低集成波导的工艺难度并提高其制作效率。
2、为实现上述目的及其它相关目的，本专利技术提供的技术方案如下。
3、一种集成波导，包括：
4、第一基板层，与第二基板层相对设置，其上形成有第一金属层；
5、所述第二基板层，其上形成
【技术保护点】
1.一种集成波导，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的集成波导，其特征在于，所述金属围栏包括多个金属结构单元，各个所述金属结构单元沿着所述输入信号线到所述输出信号线方向离散延伸设置。
3.根据权利要求2所述的集成波导，其特征在于，所述围栏包括至少两段所述金属围栏。
4.根据权利要求2所述的集成波导，其特征在于，所述围栏还包括非金属围栏，所述非金属围栏设置在所述第一基板层与所述第二基板层之间，所述非金属围栏沿着第二方向延伸设置，所述非金属围栏与所述金属围栏沿着第一方向相对设置，所述第一方向垂直于所述第二方向。
5....
【技术特征摘要】
1.一种集成波导，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的集成波导，其特征在于，所述金属围栏包括多个金属结构单元，各个所述金属结构单元沿着所述输入信号线到所述输出信号线方向离散延伸设置。
3.根据权利要求2所述的集成波导，其特征在于，所述围栏包括至少两段所述金属围栏。
4.根据权利要求2所述的集成波导，其特征在于，所述围栏还包括非金属围栏，所述非金属围栏设置在所述第一基板层与所述第二基板层之间，所述非金属围栏沿着第二方向延伸设置，所述非金属围栏与所述金属围栏沿着第一方向相对设置，所述第一方向垂直于所述第二方向。
5.根据权利要求2所述的集成波导，其特征在于，所述第一基板层的正面与所述第二基板层的正面相对设置，所述第一金属层设置在所述第一基板层的正面或者所述第一基板层的背面上，所述第二金属层设置在所述第二基板层的正面或者所述第二基板层的背面上。
6.根据权利要求5所述的集成波导，其特征在于，所述第一金属层采用侧面包边的方式设置在所述第一基板层的背面上，所述第一基板层包括第一基板，所述第一金属层包覆所述第一基板的两个侧面后延伸到所述第一基板的正面；所述第二金属层采用侧面包边的方式设置在所述第二基板层的背面上，所述第二基板层包括一个第二基板或者两个及以上沿着第一方向间隔设置的第二基板，所述第二金属...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玺，余怀强，彭佳红，张磊，谭玉婷，陈焱杰，文鹏，彭芸浩，邓立科，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：
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