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一种利用超快激光进行石英晶体调频的方法及其设备技术

技术编号:8758022 阅读:201 留言:0更新日期:2013-06-06 14:02
本发明专利技术提供了一种利用超快激光进行石英晶体调频的设备,包括用于放置待加工石英晶体组的装料架和计算机控制系统,该设备还包括一用于测量石英晶体谐振频率的测频采集模块,该测频采集模块设置于装料架上;一在线位置检测模块,该在线位置检测模块设置于装料架上;一超快激光器,该超快激光器通过一X/Y轴扫描振镜将产生的激光投射于石英晶体进行刻蚀;以及一自动上料机构,自动上料机构与计算机控制系统电连接。本发明专利技术还提供了一种利用超快激光进行石英晶体调频的方法,其通过超快激光器对石英晶体表面镀银层及镀银层下的石英晶体材料进行刻蚀以改变石英晶体表面质量,从而实现对石英晶体频率的大范围精确调频,从而提高晶体成品频率稳定性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种利用超快激光进行石英晶体调频的设备,包括用于放置待加工石英晶体组的装料架和计算机控制系统,其特征在于:该设备还包括一用于测量石英晶体谐振频率的测频采集模块,该测频采集模块设置于装料架上,且与所述计算机控制系统电连接;一用于检测石英晶体位置的在线位置检测模块,该在线位置检测模块设置于装料架上方,且与所述计算机控制系统电连接;一超快激光器,该超快激光器通过一X/Y轴扫描振镜将产生的激光投射于石英晶体进行刻蚀,且该超快激光器与所述计算机控制系统电连接;以及一将待加工的石英晶体组传送到加工位置并能在Z轴上下移动的自动上料机构,该自动上料机构与所述计算机控制系统电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林志雄黄剑航
申请(专利权)人:莆田学院
类型:发明
国别省市:

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