一种SR569T20型低频偏低损耗声表面波谐振器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种SR569T20型低频偏低损耗声表面波谐振器，属于声表面波领域。它解决了现有的声表面波谐振器插损过大的问题。本实用新型专利技术声表面波谐振器包括压电晶片、设置于压电晶片上的叉指换能器以及设置于叉指换能器两侧的第一短路指反射阵和第二短路指反射阵；所述叉指换能器与所述第一短路指反射阵和第二短路指反射阵由铜铝合金制成，所述叉指换能器与所述第一短路指反射阵和第二短路指反射阵的厚度经过高频FEM优化。本实用新型专利技术谐振器金属结构尺度较小、其中心频率为569.3MHz，频率偏差为±20kHz，插入损耗为1.5dB。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及声表面波器件
，尤其涉及一种SR569T20型低频偏低损耗声表面波谐振器。技术背景当具有压电效应的晶体受到外应力作用时，会产生与应力成正比的电场；反之，当晶体受到外电场作用时，晶体同时也产生与外电场成正比的弹性形变，该弹性形变激发出声波，激发的声波沿晶体表面传播形成声表面波。利用上述声表面波的传播即可实现电信号到声信号以及声信号到电信号的转换。声表面波谐振器是指在压电晶片上制作叉指换能器，同时在叉指换能器两侧还设置有反射阵列。该叉指换能器可以完成声-电转换，该反射阵列形成分布式谐振腔，在某一频率上，当该谐振腔的长度等于半波长的整数倍时即形成声谐振，该声谐振由叉指换能器转换为电谐振从而实现声表面波谐振器的功能。现有的声表面波谐振器由于其叉指换能器和反射阵列制作的不完善，具有频率偏差较大、插入损耗较大的缺点。并且现有的声表面波谐振器的中心频率一般为315MHZ、433MHZ，该频段复用率高，信道拥堵现象严重，构成专用无线系统时，抗干扰及安全性差。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供了一种安全性好、损耗较低的声表面波谐振器。本技术解决其技术问题采用的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种SR569T20型低频偏低损耗声表面波谐振器，其特征在于：包括压电晶片、设置于压电晶片上的叉指换能器以及设置于叉指换能器两侧的第一短路指反射阵和第二短路指反射阵；所述叉指换能器与所述第一短路指反射阵和第二短路指反射阵由铜铝合金制成，所述叉指换能器与所述第一短路指反射阵和第二短路指反射阵的厚度经过高频FEM优化。

【技术特征摘要】
1.一种SR569T20型低频偏低损耗声表面波谐振器，其特征在于包括压电晶片、设置于压电晶片上的叉指换能器以及设置于叉指换能器两侧的第一短路指反射阵和第二短路指反射阵；所述叉指换能器与所述第一短路指反射阵和第二短路指反射阵由铜铝合金制成，所述叉指换能器与所述第一短路指反射阵和第二短路指反射阵的厚度经过高频FEM优化。2.如权利要求I所述的声表面波谐振器，其特征在于所述声表面波谐振器的中心频率为569. 3MHZ，频率偏差为±20kHz，插入损耗为I. 5dB。3.如权利要求I或2所述的声表面波谐振器，其特征在于所述叉指换能器包括平行设置的第一换能器电极条以及第二换能器...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成，林波，王敬元，
申请(专利权)人：台州欧文电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：